깨끗하고 안정적입니다
Edwards CTI-Cryogenics Cryo-Torr 크라이오 펌프는 표준 벤치마킹을 지향합니다.
낮은 운용 비용과 빠르고 쉬운 유지 보수를 제공하는 이 크라이오 펌프는 신뢰할 수 있는 신속한 대응 서비스를 통해 높은 신뢰성과 저렴한 비용 대비 성능을 제공합니다. 유연성을 높이기 위해 사용자 정의 컨트롤과 지원 주변 장치를 추가하여 특정 응용 분야의 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
주요 기능
- 낮은 가동 비용 제공
- 빠르고 쉬운 유지보수
- 높은 신뢰성
- 뛰어난 성능
Cryo-Torr 펌프 모델 | 8 | 8F | 10 | 10F | 400 | ||
구성 | 일자형 | 편평형 | 일자형 | 편평형 | 일자형 | ||
진공 플랜지 ID(금속 씰, ANSI, ISO) | 200 mm | 200 mm | 290 mm | 300 mm | 400 mm | ||
가스 펌핑 속도 | |||||||
물 | 리터/초 | 4,000 | 4,000 | 9,000 | 9,500 | 16,000 | |
공기 | 리터/초 | 1,500 | 1,500 | 3,000 | 3,600 | 6,000 | |
수소 | 리터/초 | 2,500 | 2,200 | 5,000 | 6,000 | 5,000 | |
아르곤 | 리터/초 | 1,200 | 1,200 | 2,500 | 3,000 | 5,000 | |
가스 용량 | |||||||
수소 | 표준 리터 | 17 | 8 | 24 | 24 | 15 | |
아르곤 | 표준 리터 | 1,000 | 1,000 | 2,000 | 2,000 | 2,500 | |
처리량 | |||||||
아르곤 | Sccm | 700 | 700 | 1,500 | 1,500 | 500 | |
아르곤 | Torr-리터/초 | 9 | 9 | 19 | 19 | 6 | |
교차형 | Torr-리터 | 150 | 150 | 300 | 300 | 300 | |
냉각 시간 | |||||||
60Hz | 90분 | 90분 | 100분 | 100분 | 150분 | ||
50Hz | 110분 | 110분 | 120분 | 120분 | 180분 | ||
크라이오 펌프 중량 | |||||||
Lbs | 45 | 42 | 85 | 90 | 160 | ||
kg | 20 | 19 | 39 | 41 | 73 |