파운드리, $1m달러 가치 창출

공정 장비 전반에 걸쳐 높은 수준의 수율을 달성해야 한다는 압력이 증가하고 있습니다.

파운드리는 최대한 빨리 투자 자금을 회수해야 한다는 지속적인 압박에 직면해 있으며 최첨단 기술을 빨리 누리고 싶어 하는 소비자의 요구도 이러한 압박을 가중시킵니다.

새로운 기술 개발에 2년이 걸려도 개발 비용은 3~6개월 안에 회수되어야 하는 상황입니다.

또한 공정 장비는 최대 80~90%로 수율이 높아야 하는데 여러 공정 장비의 수율 수준은 목표에 미치지 못했고, 원인 조사에도 명확한 이유를 찾지 못했습니다. 한 공정 장비에서의 웨이퍼 처리량은 동급 장비의 10%밖에 되지 않아 공정 및 장비 엔지니어는 장비의 성능을 위협할 수 있는 숨겨진 변수를 찾기 위해 더 자세히 조사해야 했습니다.

펌프의 고장 위험 제거

기술 노드가 도입됨에 따라, 펌프가 견뎌야 할 화학물질로 인한 부산물의 증가로 서브팹에서는 펌프 유지보수 주기를 크게 단축해야 했습니다. 1년도 되지 않아 펌프 유지보수 일정의 빈도는 2~3년에서 일주일에 2회로 증가했습니다.

해당 팹은 유지보수 및 펌프 교환과 관련된 비용 증가를 겪었을 뿐만 아니라, 공정 장비의 유지보수가 진행되는 동안 4~8시간의 생산 시간을 잃었습니다. 하지만 유지보수를 늘리는 것만으로는 예상치 못한 펌프 고장의 위험을 없애기에 충분하지 못했으며, 이로 인해 큰 비용이 소요되고 웨이퍼 손실이 발생하기도 했습니다.

유지보수 후 불과 몇 주 만에 또다시 펌프 고장을 경험한 뒤, 고객은 우리 Edwards에 연락하여 도움을 요청했습니다. 고객 사례 연구를 다운로드하여 어떤 일이 발생했는지 알아보십시오.