ファンドリーが$1mの価値を公開

処理ツール全体で、より高いレベルの歩留まりに達するためのプレッシャーが高まっています。

このファンドリーは、納期短縮という継続的なプレッシャーに直面しています。最新のイノベーションをできるだけ早く市場に投入してほしいという消費者の要求も、このプレッシャーにつながっています。

かつては、最初のシリコンに2年かかっていた新技術開発が、今では開発費を回収するための期間は3～6ヵ月しかないかもしれません。

プロセスツールは、できるだけ早く80%～90%の歩留まりを確保する必要があります。この事例では、複数のプロセスツールの歩留まりレベルが目標を達していませんでしたが、繰り返し調査を行っても明らかな原因は特定できませんでした。あるプロセスツールでは、ウエハースループットが同業他社の10%でした。性能を低下させる可能性のある隠れた変数を見つけるために、プロセスエンジニアと機器エンジニアはさらに調査する必要がありました。

ポンプ故障のリスクを排除

技術ノードの導入に伴い、プロセス化学的性質がポンプに厳しくなり、サブファブチームは、ポンプのメンテナンス間隔を大幅に短縮せざるを得なくなりました。1年以内に、ポンプのメンテナンススケジュールの頻度は2～3年から週2回になりました。

ファブでは、メンテナンスやポンプ交換に関連するコストの増大に悩まされただけでなく、プロセスツールは、各イベントで4～8時間の生産時間を失っていました。メンテナンスの増加は、予期せぬポンプ故障のリスクをなくすには不十分で、高額なダウンタイムやウエハーの損失につながることがよくあり、不満を感じていました。

メンテナンスサイクルのわずか数週間後にポンプの故障が発生したため、サブファブチームから支援を求められました。ケーススタディをダウンロードして、何が起こったかをご覧ください。