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nEXT55およびnEXT85ターボ分子ポンプ
nEXTターボ分子ポンプはメンテナンスが容易であるため、お客様ご自身で保守作業ができます

nEXT55とnEXT85のオイルカートリッジとベアリング交換方法

数十年にわたる実績に基づき開発されたnEXTターボ分子ポンプは、優れた性能、信頼性、およびエンドユーザーによる保守性を提供し、ターボ分子ポンプのベンチマークとなっています。Edwards nEXT55/85 Any Orientation、Edwards nEXT55/ 85ターボ分子ポンプのカートリッジおよびベアリング交換の方法については、以下の動画をご覧ください。nEXTポンプのメンテナンスは35,000時間ごとに行うことをお勧めします。

カートリッジの交換には、以下のものが必要です:

B8E200845ベアリング交換ツールキット

  • B8G200811ベアリング
  • オイル・カートリッジ・オリジナル・キット
  • 2.5 mm 六角レンチ
  • T15およびT10トルクス・ドライバー
  • 1/4インチ角ドライバービット
  • プレーン芯ワッシャー(nEXT 55/85 Any Orientationのみ)

交換作業には、B8E200845 nEXT55/85 ベアリング交換工具キットB8G200811 nEXT55/85 ベアリング&オイルカートリッジキットが必要です。B8G200840 nEXT55/85 サービスツールキットの取扱説明書を事前にお読みください。

カートリッジの交換には、下記が必要です:


B8E200845ベアリング交換ツールキット

  • B8G200811ベアリング
  • オイルカートリッジのオリジナルキット
  • 2.5 mm六角レンチ
  • T15およびT10のトルクスドライバ
  •  1/4インチ角ドライバビット
  • 段付き平ワッシャ(nEXT55/85 Any Orientationの保守作業用)


この手順を完了するには、B8E200845 nEXT55/85ベアリング交換ツールキットおよびB8G200811 nEXT55/85ベアリング・オイルカートリッジキットが必要です。あらかじめB8G200840 nEXT55/85サービスツールキットの取扱説明書をお読みください。

真空ポンプの作業をするサービス技術者

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