MaxCool 2500 Lクライオチラー

水蒸気排気

Polycold MaxCool 2500 Lクライオチラーは、高真空システムの残留ガスの65〜95%を含む水蒸気を効果的に捕捉します。

水蒸気は通常、最も反応性の高い汚染物質です。MaxCoolクライオチラーを使用すると、既存システムの処理能力を20％～100％向上させ、凝結品質を改善できます。

MaxCoolの利点

高真空ポンプダウン時間を最大75％短縮
水蒸気の高速ポンプ：ワークスペースに10000～140000 L/秒
処理能力を20％～100％増加
処理中の水蒸気分圧を低くしてフィルム品質を高め、密着性を向上させることで凝結の再現性を高めます
液体窒素冷却マイスナーと比べて、優れたコストパフォーマンス
電源管理で所有コストを最小化
幅広いプロセスに対応する大容量の冷却と加熱

MaxCool クライオチラーを真空システムに追加すると、ポンプダウン時間を大幅に短縮し、製品スループットを向上させることができます。MaxCool は「始動」から数分以内に水蒸気を排気し、4 分未満でデフロストできるため、真の高速サイクル能力を発揮します。また、デフロスト後の待機時間を排除する急速冷却から冷却というオプションもあります。システムにとっては、シフトあたりの生産サイクル数が増加します。

MaxCoolは特許取得済みのPolycold混合冷媒を使用し、マイスナートラップの原理で動作します。水蒸気は、マイスナーコイルと呼ばれる極低温に冷却された表面で凝縮されトラップされます。マイスナー（クライオコイル）は真空チャンバーに直接取り付けられているため、ポート、マニホールド、バルブ、バッフルなどのコンダクタンスの影響がありません。クライオコイルは設置が簡単で、あらゆるシステムに適合します。

高真空バルブは必要ありません。

MaxCoolクライオチラーは、拡散ポンプ、ターボポンプ、またはヘリウムクライオポンプシステムに追加できる最もコスト効率に優れたアップグレードです。

MaxCoolクライオチラーは、欧州冷媒規制（EC 1005/2009）、モントリオール議定書およびUS EPA SNAPに準拠しています。