エドワーズXCEDEのアップグレード – 生産性を保護
最先端のマイクロチップの製造には、非常に複雑な化学的および物理的プロセス、材料、ガスが必要です。
エドワーズのサービスプロダクトマネジャーのルイーズ・ハスキング氏が、エドワーズXCEDEの保護技術と、それがどのようにリスクを最小限に抑え、お客様の生産性目標をサポートするのかについて説明します。
会話を続けてこのトピックについてさらに詳しく知るには、ルイーズ・ハスキング氏のXCEDEに関するインタラクティブな資料を、以下からデスクトップおよびモバイルにダウンロードしてください。
ビデオおよびトランスクリプト
最先端のマイクロチップの製造には、非常に複雑な化学的・物理的プロセス、材料、ガスが必要なため、危険な副産物の管理が非常に重要です。技術が高度になるほど、産業界の課題は大きくなります。そのため、競合他社と同等、あるいはそれ以上の競争力と効率性が求められる市場において、顧客が生産を行っていない瞬間があるたびに、業務を妨げられてしまうのです。
エドワーズのイノベーションに対する評判と歴史
当社がサービスを提供する市場や用途の多くは非常に動的であり、エドワーズ製品に対する要求は常に変化し、厳しいものとなっています。イノベーションは、持続的な経済成長と繁栄の基盤です。それは、新しい製品やサービス、または新しいプロセスの実現につながる新しいアイデアの活用です。
革新的なソリューションを開発するという目標と希望を持つことは、エドワーズにとって非常に重要な成功要因です。しかし、お客様が革新的であるということは、時代の一歩先を行き、これまで経験したことや創造したことのないものを作り出すということでもあります。
XCEDE保護技術は、エドワーズが継続的な改善を行い、エッチングのような真空が不可欠な新しい用途のすべてをリードし続けるという取り組みの一例にすぎません。エドワーズは、イノベーションの成功と新製品および新技術を次々と開発しています。実際、現在、真空生成とガス除去のための20以上の異なる原理を持っており、2,300の有効な認可済み特許および出願中の特許ポートフォリオを保有しています。
チャンバの課題
エッチングなどの過酷な用途では、凝縮性ガスと腐食性ガスが同時にチャンバ内に発生することがよくあるため、チャンバ内の真空を維持し、期待される生産性を満たすためには、ウエハーのスループットを停止する可能性のある凝縮性副産物を管理する必要があります。
XCEDEの2つの利点
ここでの真のイノベーションの課題は、ウエハーのスループットや生産性を向上させるだけでなく、お客様の所有コストを削減することでした。
これは、業界をリードするポンプ保護技術を開発することによって達成されました。そして、エドワーズのグローバルな事業展開を利用して、この独自の製品を通常のアップグレードとサービス時間に統合しました。
実際、XCEDEは計画を達成するため、お客様はポンプ製品をアップグレードすることですぐに利益を得られます。
- ポンプの寿命が長く、予測可能
- 総所有コストを削減
再認定不要
アップグレードされたポンプは、XCEDE技術を除けば、同じ状態でお客様に返却されます。つまり、製品の性能を変更することはないため、オリジナルのポンプと同じ形状、適合性、機能を持つことになります。これは、ポンプを再認定する必要がないことを意味します。XCEDEを適用することで、お客様は、既存の製品からより多くの価値を得ることができ、通常のサービスリードタイムで資産の管理を維持し、アップグレードをスケジュールに合わせることができます。
お客様は、次のような利益を得られます。
- ポンプの信頼性とウエハーのスループットが向上し、サービス間の平均時間が短縮
- ポンプの寿命が長く、予測可能
- アップグレードの通常のサービスリードタイム
- 全体的な総所有コストを削減
卓越したグローバルサービス
エドワーズは、世界中に拠点を持っているため、通常のサービスリードタイムでポンプをアップグレードでき、アプリケーションチームとフィールドサービスチームがあらゆる地域でサポートできるように体制を整えています。XCEDEのアップグレードにより、サービス間の平均時間を短縮できるだけでなく、従来のポンプを、製品の再認定不要で、アップグレードすることができます。
継続的なアップグレード供給
当社は、社内の研究開発チームと協力して、このクラスをリードする保護技術を開発しました。これは、当社の最先端の完全自動XCEDE製造ラインと一体となることで、お客様に継続的かつ高品質な供給を保証し、お客様のイノベーションを実現します。
ルイーズ・ハスキング氏
サービスプロダクトマネジャー