Tisztaterem vs. SubFab: a beállítás legfontosabb okai

A tisztateret jellemzően számos különböző gyártó különböző technológiai eszközeivel töltik meg. A szerszámra szerelt vákuumszivattyúk választéka hatalmas, a folyamateszközök és a kezelőfelületek sokfélesége és összetettsége a tisztaterekben bonyolulttá teszi a vákuum és a támogatás biztosítását. A flottakezelés és -optimalizálás összetettebb, mivel a szerszámokat a folyamatok szerint csoportosítják és elkülönítik.

Ugyanakkor nem minden tisztatér-szerszámnak van szüksége szerszámon belüli vákuumszivattyúkra, de szinte minden szerszámnak szüksége van vákuum- és gázkezelési szolgáltatásokra a SubFab-ban. A tisztateremmel ellentétben a SubFab általában egy nagy nyitott tér, tele vákuumszivattyúkkal, kipufogógáz-kezelő rendszerekkel, sok esetben egyetlen gyártótól. Igen, ez jól illeszkedik a flottamenedzsmenthez. De a berendezésflottán belüli jelentős eltérések tükrözik a tisztaterekben megtalálható összetettséget. A vákuum- és gázkezelő berendezések a folyamat típusától függően (lerakódás, maratás vagy tisztítás) különbözőképpen viselkednek. A rosszul meghozott karbantartási döntések hatástalanságot, állásidőt és kritikus biztonsági kockázatokat okozhatnak. A flottamenedzsmentnek a részletekre és a szakértői támogatásra kell összpontosítania, ami éppolyan fontos, mint a tisztaterekben. 

A tisztatérben a nagyméretű integrált folyamateszközök fizikai korlátai miatt a karbantartást szinte mindig a helyszínen kell elvégezni. A folyamateszközök karbantartását jellemzően idő- vagy számlálásalapú időközönként kezelik, bár az utóbbi időben egyre gyakrabban alkalmazzák az előrejelző vagy állapotalapú analitikát a karbantartási döntések meghozatalához.

A SubFab technológiai fejlesztései lehetővé tették, hogy a vákuum- és a gázkezelő berendezések szervizelése közötti idő sokkal hosszabb legyen, mint a folyamateszközöké. Bizonyos kritikus szivattyúkat és kipufogógáz-kezelő rendszereket rendszeres időközönként karbantartanak, de a karbantartás általában reaktív - néha még üzemzavarig is, tartalék szivattyúkkal. Ez hígítja a hosszabb szervizintervallumok előnyeit, és a szerszám nem tervezett leállását okozhatja. 

A vákuumberendezések tisztaterekben és SubFab-ban történő monitorozásának és mérésének különbségei a folyamat különböző aspektusait tükrözik. A kamrában a folyamatvákuum kritikus fontosságú, és a folyamatmérnökök folyamatosan figyelik a vákuumszinteket, ellenőrzik a szivárgásokat, és észlelik a folyamat végpontjait. Ezeknek a vákuumérzékelőknek a többsége bővítmény, amely általában nem integrált a folyamateszközökbe. A folyamat teljesítményének megerősítésére gyakori méréseket és ellenőrzéseket végeznek. A tisztaterek működési paradigmája természeténél fogva adatintenzív.

A SubFab vákuumberendezések érzékelői jellemzően integráltak, és több száz releváns vákuum- és gázkezelési paramétert felügyelnek, amelyek a berendezésvezérlőkön keresztül érhetők el. Ez akár több ezer paramétert is jelenthet a legbonyolultabb berendezések esetében, például az EUV litográfiai eszközöket támogató berendezések esetében.  Ez jelentős adatkészletet jelent, amelyet integrálni kell a gyári folyamatadatokkal. De a SubFab-ban még nem hoztuk ki a legtöbbet az adatokból származó betekintésekből. Az intelligens gyártási kezdeményezések most belépnek ebbe a potenciálba, és várjuk, hogy a következő években kihasználjuk az előnyöket.

Az integrált áramkörök létrehozásához sok emberre van szükség, akik széles körű készségekkel rendelkeznek, és mind elméleti, mind gyakorlati ismeretekkel rendelkeznek.  Ezek a készségek kiterjednek a fizika és a kémia, az anyagtudomány, az elektrotechnika és az elektronika, a gépészet, a vezérlőrendszerek és egyebek területére. A szükséges készségek és személyzet ismételten tükrözik a tisztatérben és a SubFab-ban végrehajtott folyamat különböző aspektusait. A tisztaterekben a kezelők, a technikusok és a mérnökök magasan képzettek - a doktori fokozatok nem ritkák.

A helyszíni SubFab személyzet is magasan képzett, különösen a veszélyes anyagok által okozott kockázatok tekintetében, de mivel a karbantartás nagy része a helyszínen kívül történik, a szerviz- és gyártási létesítmények mögött magasan képzett technikusok és doktori mérnökök is dolgoznak. A folyamatkémia és a vákuumfizika doktori szintű ismerete kulcsfontosságú a berendezések és a karbantartási eljárások tervezéséhez, valamint szükség esetén a helyszíni problémák megoldásához. Mivel a SubFab jelentős mértékű területi szakértelme a telephelyen kívül található, a karbantartás összetettsége rejtett, és a hatékonyság optimalizálásának lehetőségeit gyakran figyelmen kívül hagyják.