Die CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F-Kryopumpe führt die Tradition von Edwards bei der Bereitstellung der zuverlässigsten und leistungsfähigsten Implantations-Kryopumpen auf dem Markt fort.
Die On-Board® IS 320F XVS-Kryopumpe wurde entwickelt, um die höchste Wasserstoffpumpenleistung für eine verbesserte Prozessausbeute und einen höheren Durchsatz zu bieten und somit die perfekte Antwort auf die heutigen Herausforderungen von Ionen-Implantationsanwendungen darzustellen.Das intelligente, integrierte Steuersystem sorgt für eine bessere Prozessqualität, Vakuumkonsistenz und Betriebszeit und liefert gleichzeitig Echtzeit-Systeminformationen für eine optimale Steuerung der Array-Temperaturen. Die Vakuumqualität wird durch die automatische Anpassung an sich ändernde thermische Bedingungen/Gasbeladungsbedingungen verbessert.
