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Top-Banner Edwards CTI-Cryogenics 320F XVS-Kryopumpe

On-Board IS 320F XVS-Kryopumpe

Die Lösung für die anspruchsvollen Ionen-Implantationsanwendungen von heute

Neue Leistungsniveaus für Kryopumpen

Edwards CTI-Cryogenics On-Board IS 320F XVS-Kryopumpe in vertikaler Position

Die On-Board® IS 320F XVS-Kryopumpe wurde entwickelt, um die höchste Wasserstoffpumpenleistung für eine verbesserte Prozessausbeute und einen höheren Durchsatz zu bieten und somit die perfekte Antwort auf die heutigen Herausforderungen von Ionen-Implantationsanwendungen darzustellen.Das intelligente, integrierte Steuersystem sorgt für eine bessere Prozessqualität, Vakuumkonsistenz und Betriebszeit und liefert gleichzeitig Echtzeit-Systeminformationen für eine optimale Steuerung der Array-Temperaturen. Die Vakuumqualität wird durch die automatische Anpassung an sich ändernde thermische Bedingungen/Gasbeladungsbedingungen verbessert.

   

Merkmale und Vorzüge

  • Reduzierte H2-Pumpgeschwindigkeitsunterschiede zwischen Regenerationen
  • Geringere Auswirkung auf H2-Pumpgeschwindigkeit aufgrund von Verunreinigungen durch Fotolack
  • Optimierte stabile Array-Temperaturen

  • Hohe H2-Pumpgeschwindigkeit – 15.500 l/s
  • Hohe H2-Kapazität – 40 STD-L

  • On-board IS-Kryopumpen-Systeme
  • IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS-Kompressoren

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