Neue Leistungsniveaus für Kryopumpen
Die CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F-Kryopumpe führt die Tradition von Edwards bei der Bereitstellung der zuverlässigsten und leistungsfähigsten Implantations-Kryopumpen auf dem Markt fort.
Die On-Board® IS 320F XVS-Kryopumpe wurde entwickelt, um die höchste Wasserstoffpumpenleistung für eine verbesserte Prozessausbeute und einen höheren Durchsatz zu bieten und somit die perfekte Antwort auf die heutigen Herausforderungen von Ionen-Implantationsanwendungen darzustellen. Das intelligente, integrierte Steuersystem sorgt für eine bessere Prozessqualität, Vakuumkonsistenz sowie Verfügbarkeit und liefert gleichzeitig Echtzeit-Systeminformationen für eine optimale Steuerung der Array-Temperaturen. Die Vakuumqualität wird durch die automatische Anpassung an sich ändernde thermische Bedingungen/Gasbeladungsbedingungen verbessert.
Merkmale und Vorzüge
- Stabile Vakuumleistung
- Verbesserte Vakuumleistung
- Systemkompatibilität
Stabile Vakuumleistung
- Reduzierte H2-Pumpgeschwindigkeitsunterschiede zwischen Regenerationen
- Geringere Auswirkung auf H2-Pumpgeschwindigkeit aufgrund von Verunreinigungen durch Fotolack
- Optimierte stabile Array-Temperaturen
Verbesserte Vakuumleistung
- Hohe H2-Pumpgeschwindigkeit – 15.500 l/s
- Hohe H2-Kapazität – 40 STD-L
Systemkompatibilität
- On-board IS-Kryopumpen-Systeme
- IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS-Kompressoren
- Reduzierte H2-Pumpgeschwindigkeitsunterschiede zwischen Regenerationen
- Geringere Auswirkung auf H2-Pumpgeschwindigkeit aufgrund von Verunreinigungen durch Fotolack
- Optimierte stabile Array-Temperaturen
- Hohe H2-Pumpgeschwindigkeit – 15.500 l/s
- Hohe H2-Kapazität – 40 STD-L
- On-board IS-Kryopumpen-Systeme
- IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS-Kompressoren
