Alcance novos níveis de desempenho de bombas criogênicas
A bomba criogênica CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F mantém a tradição da Edwards de fornecer as bombas criogênicas de implante mais confiáveis e de melhor desempenho do mercado.
A bomba criogênica On-Board® IS 320F XVS foi projetada para oferecer o mais alto desempenho de bombeamento de hidrogênio para um melhor rendimento e produtividade do processo, oferecendo a resposta perfeita para os desafios atuais das aplicações de implante de íons. O controle inteligente do sistema integrado à bomba criogênica garante melhor qualidade do processo, consistência do vácuo e tempo de atividade, ao mesmo tempo em que fornece informações do sistema em tempo real para o controle ideal das temperaturas da matriz. A qualidade do vácuo é aprimorada pela adaptação automática às mudanças nas condições de carregamento térmico/gás.
Recursos e benefícios
- Desempenho estável do vácuo
- Desempenho de vácuo aprimorado
- Compatibilidade do sistema
Desempenho estável do vácuo
- Variação de velocidade de bombeamento de H2 reduzida entre regenerações
- Impacto reduzido para velocidade de bombeamento de H2 devido à contaminação fotorresistente
- Temperaturas otimizadas de matriz estável
Desempenho de vácuo aprimorado
- Alta velocidade de bombeamento de H2-15.500 L/S
- Alta capacidade de H2 – 40 STD-L
Compatibilidade do sistema
- Sistemas de bomba criogênica IS integrada
- Compressores IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS
- Variação de velocidade de bombeamento de H2 reduzida entre regenerações
- Impacto reduzido para velocidade de bombeamento de H2 devido à contaminação fotorresistente
- Temperaturas otimizadas de matriz estável
- Alta velocidade de bombeamento de H2-15.500 L/S
- Alta capacidade de H2 – 40 STD-L
- Sistemas de bomba criogênica IS integrada
- Compressores IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS
