Edwards Proteus
Edwards Proteus ermöglicht die effektive Behandlung von PFC und anderen Treibhausgasen ohne Einsatz von Erdgas oder anderen Kohlenwasserstoffen.
Proteus ist eine benutzerfreundliche und kostengünstige Lösung mit geringem Stromverbrauch zur Reduzierung der CO2-Bilanz bei der Halbleiterherstellung.
- Plasmatechnologie mit niedrigem Verbrauch und hohem Wirkungsgrad
- Plasma-Leistungsmodulation
- Niedrige Stickoxid-Emissionen
- Lange Serviceintervalle
- Betriebszeitschutz mit Proteus Dual
- Eine einzigartige Plasmatechnologie mit niedrigem Verbrauch, die eine hohe Wirksamkeit bei der Zerstörung (Destruction Rate Efficiency, DRE) von PFC-Gasen wie CF4 und anderen Treibhausgasen wie SF6, NF3 und N2O erzielt. Dies macht Proteus zu einer der kostengünstigsten Lösungen für die Minderung von Treibhausgasen aus Halbleiterherstellungsprozessen.
- Die Betriebsleistung von Proteus Plasma ist in Abhängigkeit von der einströmenden Gasbelastung vollständig einstellbar, sodass der Benutzer den Stromverbrauch minimieren und gleichzeitig eine optimale Behandlungseffizienz aufrechterhalten kann. Die Verbindung mit dem Prozesswerkzeug und der automatischen Plasma-Leistungsmodulation bietet weitere Möglichkeiten zur Senkung der Betriebskosten bei bester Umweltleistung.
- Die PFC-Abgasreinigung erfordert hohe Temperaturen, die die Bildung von Stickoxiden fördern. Die Proteus Plasmatechnologie wurde entwickelt, um die Emissionen von „thermischen NOx“ zu minimieren, und gilt heute als eines der führenden Systeme zur PFC-Abgasreinigung mit geringen Stickoxidemissionen.
- Bei der Zerstörung von PFC-Molekülen wird oft die Säurebelastung durch die Bildung giftiger und korrosiver wasserlöslicher Verbindungen erhöht. Die Proteus Plasmabrenner und Abgasreinigungsstufen wurden speziell entwickelt, um die Korrosion von Komponenten zu minimieren. In Kombination mit einer hervorragenden Pulverhandhabungsleistung kann Proteus lange Serviceintervalle erzielen und gleichzeitig eine sichere Arbeitsumgebung in der Fabrik aufrechterhalten.
- Proteus Dual bietet eine vollständig integrierte „Backup“-Lösung für Abgasreinigung ohne komplizierte Rohrleitungen und Schnittstellen. Proteus Dual ist eine kostengünstige, einfach zu installierende Lösung, die dabei hilft, die Betriebszeit der Prozesse aufrechtzuerhalten, den Platzbedarf und die Installationskosten zu reduzieren und gleichzeitig die Sicherheit des Sub-Fab-Bereichs zu erhöhen.
Lassen Sie sich von uns dazu beraten, wie Proteus Ihnen helfen kann, Ihre Umweltziele zu erreichen.
