クライオチラーとクライオクーラー
エドワーズPolycoldチラーシリーズ
Polycoldクライオチラーは、最大4,000ワットの冷却が可能な閉ループ極低温冷凍システムです。このシステムにより、真空プロセス内で水蒸気やその他の凝縮性物質を捕捉し、真空生成の時間と品質の両方を大幅に改善できます。Polycold製品は、半導体製造で使用される静電チャックの冷却や、信号キャプチャを改善するための各種センサー技術の冷却などの直接冷却用途にも使用可能です。
P-102 クライオクーラー - 液体窒素に代わるコンパクトで使いやすい選択肢
水蒸気の高速排気を保証
エドワーズPolycold® P-102クライオクーラーはコンパクトで使いやすく、小型真空システムにおける液体窒素の代替手段として使用できます。
この極低温発生装置は、液体窒素と同等の性能を発揮しながら、液体窒素使用に関連するコスト、不都合、危険性を効果的に排除します。
P-102クライオクーラーは、真空ポンプ流体の逆流を防ぎながら、10～8 Torrの水蒸気の高速排気を実現します。自動冷凍サイクル冷却を採用した特許取得済みの単一コンプレッサ冷凍プロセスを特長とするこの極低温発生装置は、閉ループシステムにHCFCフリーの冷媒混合物を使用し、シェブロンバッフルまたはプローブを-135℃まで直接冷却します。
主な機能
- 低温面の連続冷却
- 120ワットまでの熱除去
- 真空システムコールドトラップ冷却
- 質量分析装置リークディテクタ
- 冷却温度-135℃
- 120ワットまでの熱除去
- 容易で迅速な設置と保守
- 早期の投資回収
- P-102 クライオクーラーは低電圧および EMC 指令に基づく CE マーキングを取得しており、欧州の冷媒規制 EC/2037/2000、モントリオール議定書、および米国 EPA SNAP に準拠しています。
ポリコールド P-102 データシート
PCC コンパクトクーラー – コンパクトで高性能な冷却システム
エドワーズPolycold® PCCコンパクトクーラは、高解像度デジタル画像、分析化学、ライフサイエンス、材料分析、半導体検査、科学研究、水蒸気クライオトラップなどの過酷な要件を満たし、次世代レベルの効率性と信頼性を備えた、コンパクトかつ高性能な冷却システムです。
PCCは、コンパクトな設計とリモートコールドエンドにより、小さな設置面積で-203℃（70ケルビン）の低温を維持できる堅牢な熱除去システムを実現します。
次世代のCryotiger®テクノロジーが組み込まれたPCCは、実績ある信頼性の高い冷却により、再現性のある性能および最小限の保守コストを実現するよう設計されています。
主な機能
- あらゆる方向で使用可能な頑丈かつ低振動のコールドエンド
- 小さな設置面積を実現するコンパクトサイズ
- -203℃まで冷却
- 急速冷却
- 理想的な柔軟性のためのリモートコールドエンドと最小限の接続
- 特許取得済みのガスブレンドと革新的なオイル管理を採用した密閉サイクルコンプレッサーにより、小さな設置面積で静かで信頼性の高い性能を実現
- 液体窒素に関連するコスト、不都合、リスクを排除
ポリコールド・エドワーズ データシート PCC コンパクトクーラー
PFC水蒸気クライオチラー
エドワーズ Polycold® PFC 水蒸気クライオチラーは、高真空システムにおけるガス負荷の 65％ から 95％ を占める水蒸気を効果的に捕捉します。
起動から数分で蒸気を排出し、4 分未満で霜取りを行い、処理中に水蒸気の分圧を低下させることで、より高品質で優れた付着性と再現性の高い堆積を実現します。
真空システムに PFC クライオチラーを追加すると、ポンプダウン時間を 25％ から 75％ 短縮でき、製品のスループットを 20％ から 100％ 向上させることが可能です。さらに、PFC クライオチラーは液体窒素冷却のマイスナーに比べて優れたコストパフォーマンスを提供し、通常はわずか 1年で投資回収が見込めます。
主な機能
- -90～-155℃（183～118 K）
- シンプルなチューブタイプの冷却エレメント
- 真空システムにおける水蒸気の低温凝縮処理は、モデルおよび用途に応じて最大 200，000 L/sec の速度および 2×10⁻¹² トールの真空レベルまで対応可能です。
- 最大3,600ワットの熱除去
- 世界基準に準拠した、無毒かつ不燃性のグリーン冷媒充填
- 特許取得済みの極低温冷凍プロセスと冷媒混合物
- 各種のクライオコイル構成が可能
ポリコールド・エドワーズ データシート PFC 水蒸気クライオチラー
PGCガスチラー
このガスチラーは、窒素、アルゴン、空気などの圧縮乾燥ガスを、予冷なしで周囲温度から極低温まで冷却します。
PGC ガスチラーは、冷媒を用いたガス用チューブインチューブ熱交換器で非循環ガス流を冷却する閉ループ冷凍システムです。
エドワーズのポリコールド自動カスケード冷凍サイクル技術と混合冷媒を用いることで、PGC ガスチラーは高流量を維持しながら、乾燥ガスを -75°C から -125°C の温度範囲で冷却することを可能にします。
PGC ガスチラーは、電子機器の熱試験、真空チャンバーの冷ガス排気、レオロジー、材料の低温特性評価など、多くの用途に適しています。
これらは、液体窒素のコスト、リスク、不便さを伴わずに、超低温範囲（-75°C から -125°C／-103°F から -193°F／198K から 148K）でガス流を冷却するために利用可能な、最も費用対効果の高いシステムです。
主な機能
- 自立式、コンパクトサイズ
- 定格連続運転
- 納品後すぐに運転可能
- 設置と保守が簡単
- 単一コンプレッサによる安定性能
- 50または60 Hz運転、単相
- 電源スイッチおよび8フィートの電源コード
- 特許取得済み冷媒ガス
- PGC ガスチラーは CE 適合、SEMI S2 適合、米国 EPA-SNAP 承認済みです。独自の特許取得済み Polycold® 冷媒混合物は、現行の欧州環境規制に完全に適合しています。
ポリコールド・エドワーズ データシート PGC-152 ガスチラー
