コンプレッサ

当社の様々なコンプレッサで最適な性能を確保

Edwards CTI-Cryogenicsコンプレッサシリーズ

統合されたクライオポンプ電力周波数変換器により、すべてのEdwards真空ポンプの50 Hzおよび60 Hzの両方の用途で最大のクライオポンプ性能を確保します。

 

8200コンプレッサアセンブリ

  • このコンプレッサは、On-Boardクライオポンプ、On-Board水ポンプ、およびCryo-Torrクライオポンプで最適な性能のために設計され、最大8インチまでのあらゆるポンプをサポートします。8200は柔軟性を重視して設計されており、システム操作に最適な場所にコンプレッサを配置できます。

9600コンプレッサ

  • 長い耐用年数、高い信頼性、および使いやすさのために特別に設計されたこのコンプレッサは、すべてのCryo-Torrクライオポンプ、On-Boardクライオポンプ、On-Board水ポンプ、およびOn-Board TurboPlus真空ポンプで優れたパフォーマンスを提供します。9600は、単一ポンプ構成とグループポンプ構成の両方をサポートし、世界中のCTI-Cryogenicsポンプ装置と互換性を持ちます。

9700Aコンプレッサ

  • ヘリウム出力が強化された9700Aコンプレッサは、複数のクライオポンプ動作に最適です。多くの複数クライオポンプおよび水ポンプ用途では、1台の9700Aコンプレッサが単一のコンプレッサソリューションを提供します。9700Aコンプレッサは、複数のコンプレッサ用途と比較して電力消費、配水、設置面積を削減し、Cryo-Torr® およびOn-Board® クライオポンプと互換性がある。IS-1000コンプレッサ - On-Board ISクライオポンプ用のインテリジェントな高効率コンプレッサ技術です。

IS-1000コンプレッサ

  • IS-1000コンプレッサは、9600コンプレッサと同じフットプリントで最大6台のOn-Board IS-8Fクライオポンプをサポートする。IS-2000Vコンプレッサ - 高圧、回転技術、SEMI S-23目標に合わせた適応可能なヘリウム供給の組み合わせにより、すべての動作段階で最小の電力使用量を実現します。IS-2000Vは、2台のOn-Board IS-1000コンプレッサを置換します。この大容量ヘリウムコンプレッサは、On-Board ISクライオポンプ用途をサポートするように設計されています。統合されたクライオポンプ電力周波数変換器により、すべてのBrooks真空ポンプの50 Hzおよび60 Hzの両方の用途で最大のクライオポンプ性能を確保します。