VSS video
運用コストを削減するアップグレード - Edwards Porous Head
VSS - Core service plans
VSS - Advanced service plans
VSS - Upgrades service plans
IH article - Evaluating vacuum and abatement service maturity - download material
インフォグラフィックは、最近のSilicon Semiconductorの記事「製造工場のライフサイクルとサブファブサービス成熟度モデルの評価」からの抜粋です。得るものはもっとありますか?
IH article - how much do spend on downtime - download material
詳細については、エリック・コラートの記事「保守体制別のコスト比較」を下記からダウンロードしてください。
IH article - how is vacuum changing the subfab - download material
