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ドライスクロールポンプ

革新的なデザインの高性能のドライ真空ポンプ

Edwards nXDS20i Scroll Pump

Edwards mXDS、nXDS、XDSシリーズのドライスクロールポンプ

Edwardsドライスクロールポンプは、さまざまな用途で高い性能が実証されているドライでクリーンなソリューションを提供します。

スクロールポンプは、オイルフリー排気が望ましいロータリーベーンポンプの優れた代替製品です。

mXDSドライスクロールポンプ

mXDSは、3 m3h-1ピーク速度と0.1 mbar到達を実現する、同等の容量を持つ油封式ロータリーベーン真空ポンプおよびダイヤフラムポンプに代わる小さなドライタイプ代替製品です。

mXDSはコンパクト軽量で、重量が8 kg未満で、専用の携帯用ハンドルが付いているため、持ち運びに便利です。

システムビルダーの場合、ポンプは通常、水平または垂直に取り付けることができ、接続を便利にするために、アクセサリとして利用可能な押し込み型の代替品を使用して、入口を垂直または水平方向に向けることができます。

  • Edwards小型ドライポンプポートフォリオの性能ギャップを埋めます。

これらのコンパクトスクロールポンプには、水蒸気処理の標準として設計に組み込まれたガスバラスト機能と、大型のnXDSと同様に排気バルブが装備されています。

一般的に、同等の容量ポンプと比較して消費電力が低く、エネルギー節約に最適であり、二酸化炭素排出量の削減に最適な理想的選択肢です。

最適化されたファン冷却は、騒音を低減して静かな運転環境を実現するために役立ちます。また、オイルを補充、交換、廃棄しないクリーンなオイルフリーポンプは、環境に優しいオプションです。

mXDS3は、システム保護を強化するための電磁インレット遮断弁を標準装備または構成して提供されており、また、mXDS3sとなる排気サイレンサ/フィルタアクセサリが付属しています。

Edwards mXDS3ドライスクロールポンプ

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mXDSの優れた機能をお試しください

  • 柔軟性: コンパクトで軽量、水平または垂直に取り付け可能な入口は、垂直または水平方向に配置できます
  • 性能: 排気速度3 m3h-1、到達真空度0.1 mbar、システム保護用排気バルブを備えたガスバラスト設備
  • 環境: クリーンなオイルフリーで、オイルの補充、交換、廃棄をせず、低電力要件で、二酸化炭素排出量を削減

nXDSドライスクロールポンプ

nXDSは、排気速度が6~20 m3h-1のドライスクロールポンプで、他のポンプよりも到達圧力が低く、消費電力が低く、騒音レベルが低くなっています。

nXDSポンプは、完全にフィールドサービス可能な設計です。

そのインテリジェントコントロール機能と最大5年のサービス間隔により、所有コストが低く抑えられ、今日の先進技術の中で最も選ばれる小型ドライポンプです。

オンボードポンプコントローラーでは、次のことが可能です。

  • 自動選択機能付きの電圧入力の各種シリーズ。
  • スタンバイスピード制御ボタンを備えた使いやすい手動制御ボタンにより、プロセスを効率的に調整できます。
  • ...そしてリモートコントロールインターフェイスを使用することで、操作が簡単になります。
Edwards nXDS15iスクロールポンプ

nXDSは、スクロール真空技術を次のレベルに引き上げます。

性能の向上、卓越したポンプ性能、静かな運転、および整備間隔の延長により、nXDSは究極のドライな選択となります!

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nXDSを選択する理由

  • 使用中の静音性:低騒音レベル52 dB(A)のnXDSは、作業環境の改善と環境への影響の低減を実現します。
  • 操作が簡単:インテリジェントで使いやすいコントロール。
  • 汚染がなく、廃棄するオイルもなし:ポンプは潤滑剤と汚染のない真空用に密封されています。
  • 長いメンテナンス間隔と、低消費電力の組み合わせによる低所有コスト
  • 優れた蒸気処理により迅速な処理が可能なため、nXDSはさらに幅広い用途に適しています!

XDSドライスクロールポンプ

ドライポンプが不可欠な場合に業界標準となり、最大40 m3h-1のポンプ速度を持つさまざまな用途で堅牢でクリーンな真空ポンプソリューションであることが証明されています。

  • 一歩先を実現する技術!
特許取得済みのダブルスタートスクロールフォームテクノロジーとバイパスバルブの組み合わせにより、Edwardsは当社のオリジナル製品を補完するXDS35i Enhancedシリーズのポンプを提供することができるようになりました。
 
XDS35iには、ポンプを管理し、世界規模の性能を提供するスマートドライブ技術が組み込まれています。
 
粗加工圧力でのピーク電力要件が低減され、粗加工速度が連続的に向上します。これらの強化されたポンプにより、ユーザーは性能エンベロープに対処し、粗加工性能または大容量チャンバの真空引き能力が重要な特殊用途にも対応できます。
 
強化されたバージョンでは、初回ポンプダウン時のピーク電力要件が最大20%低減されます。つまり、大容量チャンバをポンプダウンしても性能が低下することはありません。
 
これらの粗加工圧力では最大25%のポンプ速度が向上し、より高い周波数サイクル用途にも役立ちます。
Edwards XDS35iスクロールポンプ

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XDSの利点!

  • ベアリングシールド: プロセスガスと軸受潤滑剤を確実に分離することで、クリーンな真空を確保し、プロセスガスにより潤滑剤が汚染されることもなくなるため、軸受寿命を延長することができます。
  • スマートモータードライブ: グローバルで一貫した性能、ポンプの過負荷保護リモートスタート/ストップ機能を実現します。
  • 高流量ガスバラスト:最大240 gh-1で水蒸気を含む蒸気をポンピングできます。
  • シンプルな片面スクロール設計: メンテナンスを数分で完了できるため、所有コストを削減し稼働時間を最大限高めることができます。

アプリケーション

高エネルギー物理学

  • ビームライン 
  • 加速器 
  • 移動式ポンプカート 
  • ターボポンプバッキング 
  • レーザー排出 

電子顕微鏡

  • TEM
  • SEM
  • サンプルコーター

サンプル準備

  • ゲルドライヤ
  • グローブボックス
  • 回転エバポレータ
  • 遠心分離機

研究開発

  • チャンバの排気
  • コーティングシステム
  • ターボポンプバッキング

化学

  • ゲルドライヤ
  • グローブボックス
  • 回転エバポレータ
  • 遠心分離機
  • 溶媒回収
  • 蒸留/抽出/ろ過

質量分析

  • GCMS
  • LCMS
  • ICPMS
  • MALDI
  • RGA
  • 表面科学
  • リークディテクタ

産業

  • ガスの回収と再循環
  • グローブボックス
  • ブレーキラインおよび空調排気
  • コーティングシステム
  • フリーズドライ
  • ガスボトルを充填/排出
  • 冷媒システムメーカー
  • 脱気/硬化(オイル、エポキシ樹脂)

製品動画をご覧ください!

エドワーズのお客様の声

mXDS3およびmXDS3sドライスクロール真空ポンプ - デジタルパンフレット
Vacuum Equipment for Analytical Applications - Brochure

PDF

6.6 MB

笑顔で廊下に立つEdwardsの従業員
サービスソリューション

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