Ultrahoch-Vakuumsysteme

Ultrahoch-Vakuumpumpen

Die weltweit reinsten Vakuumumgebungen

Gamma Vacuum-Pumpen – Ultrahoch-Vakuumtechnologien

Edwards bietet diverse Ionen-Pumpen, Titanium-Sublimations-Pumpen, NEG-Pumpen und Zubehör exklusiv über Gamma Vacuum an.

Gamma Vacuum Titan-Ionen-Pumpe
Ionen-Getter-Pumpen

Ionen-Pumpen, auch bekannt als Sputter-Ionen-Pumpen oder Ionen-Getter-Pumpen, sind Sorptionspumpen, die Gase mit einem Anoden/Kathoden-Array ionisieren. Durch das Sputtern reaktiver Kathodenmaterialien wird eine chemische Reaktion ausgelöst, die ionisierte Gase in feste Verbindungen umwandelt. Diese Verbindungen tragen nicht länger zum Druck des Vakuumsystems bei und werden dauerhaft in der Ionen-Pumpe gehalten. Ionen-Pumpen können in einem Bereich zwischen 10-5 und 10-12 mbar betrieben werden und werden in Größen zwischen 0,2 und 1.200 l/s (Stickstoff) angeboten.

Gamma Vacuum Titanium-Sublimations-Pumpen
Titanium-Sublimations-Pumpen

TSPs funktionieren, indem sie einen Titanium-Heizfaden erhitzen und Titaniummoleküle an einer Fläche sublimieren, d. h. vom festen in den gasförmigen Zustand überführen. Die sublimierten Titaniummoleküle können dann mit Gasen wie Sauer- und Stickstoff chemisch reagieren und Wasserstoff trennen und diffundieren. TSPs können bei einem Druck zwischen 10-5 und 10-12 mbar betrieben werden und weisen Saugvermögen von mehr als 10.000 l/s (Wasserstoff) auf.

NEG-Kartusche N200
NEG Pumpen

NEGs sind reaktive Metalle, die auf Festkörpersubstrate gepresst oder in Scheiben gesintert werden. Eine spezifische Kombination aus Zirconium, Vanadium und Eisen funktioniert am besten für HV- und UHV-Umgebungen. Die Menge des verwendeten Materials bestimmt das Saugvermögen und die Kapazität der NEG-Pumpe, die normalerweise zwischen 55 und 412 l/s und 630 bis 3.600 Torr l/s liegt. Mit Gas gesättigte NEGs können ohne Entlüftung in die Atmosphäre erneut aktiviert werden.

Keine mechanische Schwingungen

Sorptionspumpen funktionieren ohne bewegliche Teile. Keine Schwingungen durch bewegliche Teile und keine elektrischen Störquellen

Hohe Strahlungsresistenz

Sorptionspumpen sind aus strahlungsresistenten Materialien (über 108 Gray) gefertigt. Anschlüsse und Kabel sind ebenfalls aus strahlungsresistenten Materialien gefertigt, die auf jahrelangen Betrieb ausgelegt sind.

Hohe Temperaturresistenz

Ohne spezielle Vorsehungen können Sorptionspumpen bei Temperaturen von bis zu 250 °C eingesetzt werden. Nach Entfernung der Magneten sind sogar noch höhere Temperaturen von bis zu 450 °C möglich. Der lange Einsatz unter hohen Temperaturen ist ein wesentliches Kriterium für UHV-Systeme.

Keine regelmäßige Wartung

Sorptionspumpen erfordern praktisch keine Wartung und verursachen keine kostspieligen Vakuumverlust-Situationen, da sie vom Atmosphärendruck isoliert sind. Das spart Zeit, Geld und Ressourcen.

Geringe Anschaffungskosten

Die Anschaffungskosten liegen normalerweise unter denen anderer Arten von Vakuumpumpen mit vergleichbarer Leistung. Sie benötigen minimale oder keine Stromversorgung – für jahrelangen kostengünstigen Betrieb.

„How Ion Pumps Work“ von Gamma Vacuum

Ionenpumpen sind Sorptionspumpen. In diesem Video wird die grundsätzliche Funktionsweise der Pumpen erklärt. Wer keine Erfahrung mit Ionenpumpen hat, erhält hier wichtige Informationen. Erfahrenen Teilchenphysikern hingegen wird die kreative Aufmachung des Videos bestimmt Freude bereiten.

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„Ion Pump Element Styles“ von Gamma Vacuum

Ionenpumpen sind Sorptionspumpen. In diesem Video wird auf die Unterschiede zwischen den Arten konventionelle Diode (CV), differenzielle Diode (DI oder Noble-Diode) und Triode (TR) der Ionenpumpen-Elemente eingegangen.

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„Titanium Sublimation Pump Operation“ von Gamma Vacuum

Grundlegende Beschreibung des Einsatzes einer Titanium-Sublimationspumpe (TSP) zur Entfernung von Gasmolekülen aus einem Hoch- oder Ultrahoch-Vakuumsystem. TSPs werden normalerweise in Verbindung mit Ionenpumpen eingesetzt. Dieses Video hat keine Audiospur.

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„Non-Evaporable Getter (NEG) Operation“ von Gamma Vacuum

Grundlegende Beschreibung des Einsatzes einer NEG-Pumpe (Non-Evaporable Getter) zur Entfernung von Gasmolekülen aus einem Hoch- oder Ultrahoch-Vakuumsystem. TSPs werden normalerweise in Verbindung mit Ionenpumpen eingesetzt. *Dieses Video hat keine Audiospur.*

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