STP-Maglev-Turbomolekularpumpen

Vibrationsarm und wartungsfrei

Über Prozesskammerlösungen

Wenn Sie konstante, zuverlässige Leistung ohne Wartung benötigen, setzt unsere STP Maglev-Turbomolekularpumpenreihe den Standard. Der Rotor ist vollständig magnetgelagert – So sind diese Pumpen die erste Wahl für Anwendungen, die hohe Verfügbarkeit, kohlenwasserstofffreies Pumpen bei minimalem Wartungsaufwand und sehr geringe Vibrationen erfordern.

Fortschrittliche Hochdurchsatz-Serie

Die Advanced-Reihe bietet hohen Durchsatz und ist perfekt für Ihre Ätz- und CVD-Prozesse in der Halbleiterindustrie geeignet:

  • Geringe Stellfläche
  • Durchsatzleistungen von 300 l/s bis 4500 l/s
  • Durchsatz bis zu 6 slm und verbesserte H2-, N2- und Ar-Leistung.

Diese All-in-One-Turbopumpenlösung macht das sonst übliche Anschlusskabel und Gestell überflüssig:

  • Reduzierte Stellfläche, Einsparung wertvollen Fabrikraums, sparen bei Installationszeit und -kosten
  • Die eingebaute Stromversorgung reduziert den Energieverbrauch bei hohem Gasdurchsatz um bis zu 32 %.
  • Durchsatzleistungen von 300 l/s bis 4500 l/s möglich.

Die Baureihe für Ultrahochvakuum bietet unübertroffene Zuverlässigkeit, Leistung, Reinheit und erstklassig niedrige Schwingungswerte.

  • Gleichstromversorgung macht Batterien überflüssig.
  • Controller in halber Einbauhöhe mit Auto-Tuning und erweiterten Diagnosefunktionen
  • Geschwindigkeiten von 300 l/s bis 1000 l/s und <10–10 mbar Enddruck, CF-Flansch
  • Die „C“-Version für raueste Verfahrensbedingungen ist ebenfalls erhältlich.

Die vibrationsarme Ultrahochvakuum-Variante umfasst alle Merkmale der Ultrahochvakuum-Baureihe sowie einen integrierten Schwingungsdämpfer, der Ihnen eine extrem geringe Vibration garantiert.