Vibrationsarm und wartungsfrei
Unsere wartungsfreie Maglev-Turbomolekularpumpenreihe STP setzt Maßstäbe für konsistente und zuverlässige Leistung. Der Rotor ist vollständig magnetgelagert – damit sind diese Pumpen die erste Wahl für Anwendungen, die hohe Verfügbarkeit und kohlenwasserstofffreies Pumpen bei minimalem Wartungsaufwand und sehr geringen Vibrationen erfordern.
Die Advanced-Reihe bietet hohen Durchsatz und ist perfekt für Ihre Ätz- und CVD-Prozesse in der Halbleiterindustrie geeignet:
Diese All-in-One-Turbopumpenlösung macht das sonst übliche Anschlusskabel und Gestell überflüssig:
Die Baureihe für Ultrahochvakuum bietet unübertroffene Zuverlässigkeit, Leistung, Reinheit und erstklassig niedrige Schwingungen:
Die vibrationsarme Ultrahochvakuum-Variante umfasst alle Merkmale der Ultrahochvakuum-Baureihe sowie einen integrierten Schwingungsdämpfer, der Ihnen eine extrem geringe Vibration garantiert.
