Vacuum Equipment for Ultra High Vacuum Applications Brochure
Sorptionspumpen erzeugen Hoch- (HV) und Ultrahoch-Vakuumumgebungen (UHV) für diverse Anwendungen, von tragbaren Massenspektrometern bis zu großen Partikelbeschleunigungsanlagen. So lässt sich kostengünstig ein möglichst niedriges Vakuum erzielen.
Auch bekannt als Sputter-Ionen-Pumpen oder Ionen-Getter-Pumpen.
Dabei handelt es sich um Sorptionspumpen, die Gase mit einem Anoden/Kathoden-Array ionisieren.
Durch das Sputtern reaktiver Kathodenmaterialien wird eine chemische Reaktion ausgelöst, die ionisierte Gase in feste Verbindungen umwandelt. Diese Verbindungen tragen nicht mehr zum Druck des Vakuumsystems bei und werden dauerhaft in der Ionenpumpe gehalten.
Ionenpumpen können in einem Bereich zwischen 10-5 und 10-12 mbar betrieben werden und werden in Größen zwischen 0,2 und 1.200 l/s (Stickstoff) angeboten.
Titanium-Sublimationspumpen
Titanium-Sublimations-Pumpen
Durch Erhitzen eines Titanium-Heizfadens sublimieren Titaniummoleküle an einer Fläche, d. h. sie werden vom festen in den gasförmigen Zustand überführt.
Die sublimierten Titaniummoleküle können dann mit Gasen wie Sauer- und Stickstoff chemisch reagieren und Wasserstoff abspalten und diffundieren.
Titanium-Sublimationspumpen können bei einem Druck zwischen 10-5 und 10-12 mbar betrieben werden und weisen Saugvermögen von mehr als 10.000 l/s (Wasserstoff) auf.
Dies sind reaktive Metalle, die auf Festkörpersubstrate gepresst oder in Scheiben gesintert werden.
Eine spezifische Kombination aus Zirconium, Vanadium und Eisen funktioniert am besten für HV- und UHV-Umgebungen. Die Menge des verwendeten Materials bestimmt das Saugvermögen und die Kapazität der NEG-Pumpe, die normalerweise zwischen 55 und 412 l/s Saugvermögen und 630 bis 3.600 Torr l/s Kapazität liegen.
Mit Gas gesättigte NEGs können ohne Entlüftung in die Atmosphäre erneut aktiviert werden.
NEG-Patrone N200
NEG-Patrone N200
NEG-Patrone N200
DIGITEL SPCe-Steuerung für kleine Pumpen
DIGITEL QPC Quad-Pumpensteuerung
DIGITEL MPCq Mehrpumpen-Steuerung
Verschiedene Ionenpumpen, NEG-Pumpen, TSP und NEG-Steuerungen wurden entwickelt, um Ihre Vakuumanwendung zu regeln, zu betreiben und zu verwalten.
Egal, ob Sie eine einzelne oder mehrere Pumpen betreiben: Unsere Steuerungen wurden entwickelt, um eine konstante Spannung und eine konstante Stromstärke zu gewährleisten, und verfügen über einer Reihe von Integrationsprotokollen, Sicherheitsfunktionen und eine benutzerfreundliche Navigationsschnittstelle.
Die fortschrittlichen Steuerungen SPCe, QPC, MPCq und TSP unterstützen Sie dabei, die maximale Leistung Ihres Vakuumsystems zu nutzen.
Ausgelegt für eine optimale Kompatibilität mit dem Gamma Vacuum-Produktportfolio.
Diese Zubehörserie verbessert die Leistung, Zuverlässigkeit und Effizienz Ihres Vakuumsystems noch weiter.
TSP-Kabel
Verteilerbox
Hochspannungskabel
TSP-Schutzhaube
Sorptionspumpen besitzen keine beweglichen Teile, daher treten keine Schwingungen und kein elektrisches Rauschen auf.
Sorptionspumpen bestehen aus strahlungstoleranten Materialien über 108 Gray. Auch die Steckverbinder und Kabel sind durch strahlungstolerante Materialien auf einen jahrelangen Dauerbetrieb ausgelegt.
Die Sorptionspumpen können ohne Probleme bei Temperaturen bis 250 °C eingesetzt werden. Ohne die Magnete ist dies sogar bis 450 °C möglich. Lange Heißläufe sind für jedes UHV-System von entscheidender Bedeutung.
Sorptionspumpen erfordern praktisch keine Wartung und verursachen keine kostspieligen Vakuumverluste, da sie vom Atmosphärendruck isoliert sind. Das spart Zeit, Geld und Ressourcen.
Die Anschaffungskosten sind in der Regel geringer als bei vergleichbaren anderen Vakuumpumpentypen. Die Pumpen verbrauchen über Jahre hinweg nur wenig oder keine Energie und sind daher kostengünstig.
