Sorptionspumpen erzeugen Hoch- (HV) und Ultrahoch-Vakuumumgebungen (UHV) für diverse Anwendungen, von tragbaren Massenspektrometern bis zu großen Partikelbeschleunigungsanlagen. So lässt sich kostengünstig ein möglichst niedriges Vakuum erzielen.
Ionen-Pumpen, auch bekannt als Sputter-Ionen-Pumpen oder Ionen-Getter-Pumpen, sind Sorptionspumpen, die Gase mit einem Anoden/Kathoden-Array ionisieren. Durch das Sputtern reaktiver Kathodenmaterialien wird eine chemische Reaktion ausgelöst, die ionisierte Gase in feste Verbindungen umwandelt. Diese Verbindungen tragen nicht länger zum Druck des Vakuumsystems bei und werden dauerhaft in der Ionen-Pumpe gehalten. Ionen-Pumpen können in einem Bereich zwischen 10-5 und 10-12 mbar betrieben werden und werden in Größen zwischen 0,2 und 1.200 l/s (Stickstoff) angeboten.
Titanium-Sublimations-Pumpen
Durch Erhitzen eines Titanium-Heizfadens sublimieren Titaniummoleküle an einer Fläche, d. h. sie werden vom festen in den gasförmigen Zustand überführt. Die sublimierten Titaniummoleküle können dann mit Gasen wie Sauer- und Stickstoff chemisch reagieren und Wasserstoff trennen und diffundieren. Titanium-Sublimations-Pumpen können bei einem Druck zwischen 10-5 und 10-12 mbar betrieben werden und weisen Saugvermögen von mehr als 10.000 l/s (Wasserstoff) auf.
Titanium-Sublimations-Pumpen
Diese bestehen aus reaktiven Metallen, die auf Festkörpersubstrate gepresst oder in Scheiben gesintert werden. Eine spezifische Kombination aus Zirconium, Vanadium und Eisen funktioniert am besten für HV- und UHV-Umgebungen. Die Menge des verwendeten Materials bestimmt das Saugvermögen und die Kapazität der NEG-Pumpe, die normalerweise zwischen 55 und 412 l/s und 630 bis 3.600 Torr l/s liegt. Mit Gas gesättigte NEGs können ohne Entlüftung in die Atmosphäre erneut aktiviert werden.
NEG-Patrone N200
Eine moderne NEG-Steuerung mit verbesserter Funktionalität in einem kompakten Design zur Optimierung der Leistung und der Kosten, die dazu beiträgt, dass Sie für Ihre Anwendung bequemer ein Ultrahochvakuum erreichen.
DIGITEL SPC-NEG-Steuerungen betreiben NEG-Pumpen mit einer hohen Wasserstoffpumpgeschwindigkeit, dem wichtigsten Gastyp bei Ultrahochvakuumanwendungen. Im Gegensatz zu Standardnetzteilen kann die SPC-NEG nicht nur die Heizung des NEG mit Strom versorgen, sondern auch vordefinierte Routinen mit bestimmten Parametern, wie z. B. Stromstärke oder Heizdauer, versorgen. Diese Werte werden von der SPC-NEG je nach angeschlossener NEG-Pumpe ausgewählt. Die Routinen sind anpassbar, um Experimente mit unterschiedlichen Parametern zu ermöglichen. Ein zuverlässiger Betrieb wird durch die Erkennung eines offenen Regelkreises sowie durch einen Überlastschutz erreicht.
Ein großer Touchscreen sorgt für hohe Benutzerfreundlichkeit. Darüber hinaus ist über die Ethernet-Schnittstelle eine Fernsteuerung möglich.
DIGITEL SPC-NEG-Steuerung
