00,02 | Změňujeme paradigma provozu, vybavení a servisu dílny.
Optimalizace prostorové efektivity s Ganymede: menší půdorysné rozměry, větší dopad
S pokrokem v polovodičovém průmyslu vzrostly náklady na výrobní prostor, což výrobcům přimělo maximalizovat počet nástrojů v dostupném prostoru. Tradičně se předpokládá, že zařízení dílčího výrobního závodu se vejde do půdorysu nástroje promítaného z výše uvedeného výrobního závodu. To představuje výzvu, protože fyzická velikost vývěvy přímo souvisí s její čerpací kapacitou, což vytváří konflikt mezi touhou po menších vývěvách a potřebou vyšší kapacity a rychlosti.
Aby byly splněny tyto rostoucí požadavky, byl systém Ganymede navržen tak, aby byl o 30 % menší než starší čerpadla, což nabízí průkopnické řešení pro manažery dílčích závodů, kteří chtějí uvolnit prostor bez kompromisů v oblasti výkonu. Snížením půdorysu čerpadla umožňuje Ganymede výrobcům využít cenné nemovitosti Fab, což umožňuje integraci více nářadí do stejného prostoru.
Klíčové výhody menšího půdorysu systému Ganymede:
• Vyšší průchodnost: kompaktní konstrukce zařízení Ganymede umožňuje efektivnější využití prostoru, což umožňuje přidání více nářadí do výrobního závodu, což zvyšuje průchodnost a produktivitu
• Nižší emise CO2: Menší velikost a vyšší výkon systému Ganymede přispívají k nižší spotřebě energie, což pomáhá výrobcům snížit uhlíkovou stopu a splnit cíle udržitelnosti
• Efektivita údržby: Navzdory své menší velikosti je přístroj Ganymede navržen pro snadný servis, což zajišťuje, že úkony údržby lze provádět rychle a bezpečně, bez komplikací často spojených se stohovanými nebo kompaktními systémy.
Prostorově úsporné řešení
Aby bylo možné udržet krok se zmenšováním velikosti nářadí, musí se půdorysná plocha vývěvy zmenšit o 20-30 %. Ganymede tuto výzvu čelí čelem k čelu a poskytuje řešení, které nejen šetří prostor, ale také poskytuje čerpací kapacitu a rychlost potřebnou k zachování špičkového výkonu.
Pro manažery dílčích výrobních závodů, kteří chtějí optimalizovat jak výkon, tak využití prostoru, nabízí Ganymede řešení nové generace, které vyhovuje požadavkům dnešního prostředí výroby polovodičů.
Objevte prostorově úsporné výhody systému Ganymede a jak vám může pomoci zvýšit průchodnost a snížit emise CO2.
Přečtěte si více o projektu ganymede
