Your browser is not supported

您正使用我們不再支援的瀏覽器。如要繼續瀏覽我們的網站,請選擇以下任一支援的瀏覽器。

客戶為何應該考慮回收和再利用?

可回收的標誌
影片與文字稿

在晶圓廠中回收材料再利用

客戶有幾種應該考慮回收材料再利用的原因。

有可能是因為有供應端的問題導致限制和短缺。或者,客戶可能想要減少工廠的釋放物和排放物。或者,也可能是因為客戶對材料的安全和處理有所疑慮。

客戶有哪些選項?

從廢棄流量中回收材料所選擇的技術,非常需根據我們要試著回收的材料,以及我們要從哪裡回收材料而定。

這會決定要使用哪種分離技術。

但是這些選擇,更與客戶和供應有關,而回到製程工具,則關乎工具是開放迴路或封閉迴路系統

封閉迴路是指我們回收的材料之處,並或多或少直接送回製程腔體。

開放迴路的一種是較為基於區域的系統,我們會將材料送回現場的某個中央地點,然後重新分配回一些製程工具。

或者,材料會離開現場給第三方再處理,以接近原型的形式再回送至現場。

那麼,有哪些挑戰?

最大的挑戰是盡量簡化系統,避免複雜性。

複雜性來自於化學上的複雜性。我們要嘗試分離什麼材料,要從哪些其他材料分離?這會促使我們使用多階段的系統。

另一種複雜性是來自於製程是否為穩定狀態。大多數的半導體處理器並非處於穩定狀態 – 流量會改變,會上升、會下降、會停止。

這再一次表示我們設計的系統必須因應不穩定的狀態,而這會增加系統的複雜度。

為何應考慮愛德華的回收和再利用?

愛德華對於處理半導體製程中的氣體與材料具有高水準的專業知識。

我們長久以來都瞭解客戶的需求,即製程工具的可靠運作,以及最少的干預。

我們長久以來都瞭解客戶的需求,即製程工具的可靠運作,以及最少的干預。一般而言,我們要分離的材料可能有易燃性、發火性或毒性,或是有一些排放疑慮。安全處理至關重要。

愛德華除了因其技術而知名以外,也以其「安全第一」的文化而聞名。

回收和再利用製程氣體:有哪些選項?

下載互動式 PPS 文件或 PDF 雜誌文章。

訂閱

是否要接收電子郵件最新消息?