お客様はなぜ回収とリサイクルを検討すべきなのでしょうか?
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製造工場内の回収およびリサイクルプロセス材料
お客様が材料の回収やリサイクルを検討するべき理由はいくつかあります。
規制や不足を引き起こしている供給側の問題が原因かもしれません。あるいは、施設からの排出量を削減したいと考えている場合もあります。あるいは、材料の安全性や取り扱いに懸念があることも考えられます。
お客様にはどのような選択肢がありますか?
廃棄物の流れから材料を回収するために選択される技術は、実際に回収しようとしている材料が何なのか、何から回収しようとしているかによって異なります。
これが分離技術の定義です。
しかし、よりお客様や供給、プロセスツールに関連する選択肢は、オープンループシステムかクローズドループシステムかに関係しています。
クローズドループは、回収した材料を、多かれ少なかれ、プロセスチャンバにそのまま送り返します。
オープンループは、よりエリアベースのシステムであり、施設の中心的な場所に材料を送り返してから、多くのプロセスツールに再配布します。
あるいは、第三者が再処理するために敷地外で、元の形に近い形で再び現場に供給されるかどうかです。
では、課題は何でしょうか?
最大の課題は、システムをできるだけシンプルにして、複雑さを避けることです。
複雑さは化学の複雑さの結果として生じます。どんな物質とどんな物質を分離しようとしているのか？ それによって、いくつかの異なる段階を持つシステムを構築することができます。
その他の複雑さは、プロセスが定常状態かそうでないかから生じます。ほとんどの半導体プロセッサは定常状態ではありません。アップ状態、ダウン状態、オフ状態など、流れが変化します。
繰り返しになりますが、そのような非定常状態に対応するためにシステムを設計しなければならず、システムの複雑さが増します。
エドワーズの回収とリサイクルを検討する理由とは?
エドワーズには、半導体プロセスにおけるガスや材料の取り扱いに関する高い専門知識があります。
当社は、プロセスツールが最小限の介入で確実に作動するというお客様のニーズを十分に理解しています。
当社は、プロセスツールが最小限の介入で確実に作動するというお客様のニーズを十分に理解しています。一般的に、ここで分離する材料は、可燃性、発火性、有毒性、または排出の懸念があるものです。 これらを安全に取り扱うことが重要です。
エドワーズは、その技術に加えて、「安全第一」の企業文化でもよく知られています。
