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Mike Czerniak - IPCC 準則更新

影片與文字稿
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大家好,我是 Mike Czerniak 教授。

我是愛德華真空的環境解決方案業務開發經理,同時也是布里斯托大學的客座產業教授。

聯合國 IPCC 是政府間氣候變遷專門委員會。他們向所有政府及其他機構發佈溫室氣體報告指引,讓每個人都能以相同方式報告。這表示您要在相似之間找出差異,而且他們剛完成了去年發表的最新迭代。

它確實結合了業界的許多變革。現在使用了很多過去未曾使用的新氣體。此外,還有一些新的科學。現在我們已瞭解,某些溫室氣體實際上可能是從特定製程中產生的多餘副產物,甚至是來自一些氣體處理系統。  

愛德華製造氣體處理系統,但設計上不會產生這些多餘的氣體。

不幸的是,其他系統會產生這些多餘的氣體,因此愛德華設備通常會被預設包含在內。您可以認為這是有過失的,直到或除非您能透過適當的測試和認證證明它是無辜的。

這對我們的產業影響甚鉅,因為透過通報溫室氣體排放,能促使人們朝向最佳實務邁進,而這顯然要靠使用極少的溫室氣體。但在廢氣排放至大氣前,也要先進行處理,因為其中一些氣體可能會在大氣中持續數萬年,其影響力可能是二氧化碳的數萬倍。

為什麼升級了準則

這些修訂的準則之所以會升級,是因為人們逐漸意識到,在大氣中測量到的東西 (我們稱之為自上而下) 與人類報告的排放資料 (我們稱之為自下而上) 之間存在差異。

在半導體製造過程中,已經識別出兩種新的 PFC 形成機制,並且相關的排放因子已經被加入到最新的 IPCC 修訂中:

  1. 在混合燃料和製程腔體廢水的系統中,以燃燒為基礎的減排過程中,氟與碳氫燃料反應會形成 CF4。
  2. 清洗化學氣相沉積 (CVD) 腔體沉積物時會形成 CF4。

CF4 特別值得關注,因為它的大氣壽命為 50,000 年,可能永遠都不會消失。

IPCC 網站是非常實用的資訊資源,但您也可以在愛德華的網站上找到更多資訊,包括氣候變遷的背景以及半導體產業的資訊。此外,它還涵蓋了可以幫助您在這些氣體排放之前就將其消減的產品。

Mike Czerniak

Mike Czerniak

環境解決方案業務開發經理

標題為「修訂版 IPCC 準則如何影響半導體製造」的文件封面

下載 Mike Czerniak 教授的 IPCC 準則審查。

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