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    • PFCに関する最新のガイドラインについての説明

    マイク・ツェルニアク氏 - IPCCガイドラインの最新情報

    ビデオおよびトランスクリプト
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    こんにちは、教授のマイク・ツェルニアクです。

    エドワーズでは、環境ソリューション事業開発マネジャーを務めています。ブリストル大学の産学教授も務めています。

    国連IPCCは、気候変動に関する政府間パネルです。温室効果ガスを報告するすべての政府や団体にガイダンスを発行し、誰もが同じ方法で報告できるようにしています。これは、りんごとりんごを比較することを意味し、昨年発表されたばかりの最新版が完成したところです。

    実際には、業界には多くの変化があります。以前は使用されていなかった新しいガスが現在はたくさん使用されています。また、新しい科学もあります。現在では、一部の温室効果ガスは、特定のプロセスから(ガス処理システムの一部からでも)不要な副産物として実際に発生する可能性があるということが理解されています。  

    エドワーズは、ガス処理システムを製造していますが、設計上、これらの不要なガスは発生させていません。

    残念ながら、他のシステムではガスが発生するため、エドワーズの装置がデフォルトで含まれています。適切なテストと認証で無実であることを実際に証明できるまで、または証明できない限り、有罪となります。

    温室効果ガスの排出量を報告しなければならないことで、温室効果ガスをできる限り少なくしようというベストプラクティスに導くことは明らかですが、これはすべて私たちの業界に大きな影響を与えます。しかし、大気に放出される前に廃棄ガスを処理することも必要です。その理由は、温室効果ガスの一部が数万年にわたって大気中に存在する可能性があるからです。二酸化炭素の何万倍も影響力がある可能性があります。

    ガイドラインがアップグレードされた理由

    改良されたこれらのガイドラインは、トップダウンと呼ばれる大気中で測定したものと、ボトムアップと呼ばれる人が排出したと報告されるものとの間に不一致があることが認識されるようになったため、アップグレードされました。

    半導体製造中のPFC形成について、二つの新しいメカニズムが特定され、排出係数が最新のIPCC改良版に追加されました。

    1. 燃料とプロセスチャンバーの排出物を混合するシステムでの燃焼ベースの除害におけるフッ素の炭化水素燃料に対する反応によるCF4の形成。
    2. 化学気相成長法(CVD)のチャンバ堆積物をクリーニングする際のCF4の形成。

    CF4は、50,000年の大気寿命があり、永遠に残り続ける可能性があるため、特に懸念されています。

    IPCCのウェブサイトは、非常に優れた情報源ですが、エドワードのウェブサイトでも、気候変動の背景や半導体業界の状況について、より多くの情報を得ることができます。また、温室効果ガスが放出される前に除害するのに役立つ製品も紹介しています。

    マイク・ツェルニアク氏

    マイク・ツェルニアク氏

    環境ソリューション事業開発マネジャー

    「改訂版IPCCガイドラインが半導体製造に与える影響」というタイトルの文書のカバー画像

    マイク・ツェルニアク教授のIPCCガイドラインレビューをダウンロード。

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