Edwards CTI-Cryogenics Cryo-Torrクライオポンプが新たな基準を打ち立てます。
このクライオポンプは低い運用コスト、迅速かつ容易な保守性、反応の早いサポートサービスにより、優れた信頼性と収益パフォーマンスを実現します。柔軟性を高めるため、独自にカスタマイズされたコントロールとサポート用周辺機器を追加して、特定用途のニーズを満たすことも可能です。
| Cryo-Torrポンプモデル | 8 | 8F | 10 | 10F | 400 | ||
| 構成 | ストレート | フラット | ストレート | フラット | ストレート | ||
| 真空フランジID（金属シール、ANSI、ISO） | 200 mm | 200 mm | 290 mm | 300 mm | 400 mm | ||
| ガス排気速度 | |||||||
| 水 | L/s | 4,000 | 4,000 | 9,000 | 9,500 | 16,000 | |
| エア | L/s | 1,500 | 1,500 | 3,000 | 3,600 | 6,000 | |
| 水素 | L/s | 2,500 | 2,200 | 5,000 | 6,000 | 5,000 | |
| アルゴン | L/s | 1,200 | 1,200 | 2,500 | 3,000 | 5,000 | |
| ガス容量 | |||||||
| 水素 | 標準リットル | 17 | 8 | 24 | 24 | 15 | |
| アルゴン | 標準リットル | 1,000 | 1,000 | 2,000 | 2,000 | 2,500 | |
| スループット | |||||||
| アルゴン | SCCM | 700 | 700 | 1,500 | 1,500 | 500 | |
| アルゴン | Torr - L/s | 9 | 9 | 19 | 19 | 6 | |
| クロスオーバー | Torr - リットル | 150 | 150 | 300 | 300 | 300 | |
| 冷却時間 | |||||||
| 60 Hertz | 90分 | 90分 | 100分 | 100分 | 150分 | ||
| 50 Hertz | 110分 | 110分 | 120分 | 120分 | 180分 | ||
| クライオポンプ重量 | |||||||
| ポンド | 45 | 42 | 85 | 90 | 160 | ||
| kg | 20 | 19 | 39 | 41 | 73 |
