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Edwards Cryo-Torrクライオポンプ

Cryo-Torrクライオポンプ

重要な真空プロセス用途向けのクリーンで信頼性の高い高速排気

クリーンで確実

このクライオポンプは低い運用コスト、迅速かつ容易な保守性、反応の早いサポートサービスにより、優れた信頼性と収益パフォーマンスを実現します。柔軟性を高めるため、独自にカスタマイズされたコントロールとサポート用周辺機器を追加して、特定用途のニーズを満たすことも可能です。

 

主な機能

  • 低い運用コストを実現 
  • 迅速で簡単な保守
  • 高性能な機器のご提供 
  • 収益パフォーマンス

Cryo-Torrポンプモデル     8 8F 10 10F 400
構成     ストレート フラット ストレート フラット ストレート
真空フランジID(金属シール、ANSI、ISO)     200 mm 200 mm 290 mm 300 mm 400 mm
ガス排気速度              
  L/s 4,000 4,000 9,000 9,500 16,000
  エア L/s 1,500 1,500 3,000 3,600 6,000
  水素 L/s 2,500 2,200 5,000 6,000 5,000
  アルゴン L/s 1,200 1,200 2,500 3,000 5,000
ガス容量              
  水素 標準リットル 17 8 24 24 15
  アルゴン 標準リットル 1,000 1,000 2,000 2,000 2,500
スループット              
  アルゴン SCCM 700 700 1,500 1,500 500
  アルゴン Torr - L/s 9 9 19 19 6
クロスオーバー   Torr - リットル 150 150 300 300 300
冷却時間              
    60 Hertz 90分 90分 100分 100分 150分
    50 Hertz 110分 110分 120分 120分 180分
クライオポンプ重量              
    ポンド 45 42 85 90 160
    kg 20 19 39 41 73

詳細はアトラスコプコにお問い合わせください

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