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Edwardsのクライオポンプシリーズ

CTI-Cryogenicsクライオポンプ

優れた性能とツールアップタイム延長

信頼性と性能の世界標準

CTI-Cryogenicsは、さまざまなハイテク研究用途で使用される単一のクライオポンプから、半導体、フラットパネル、光学デバイスの製造で使用される洗練されたクライオポンプシステムまで、極低温高真空技術の世界標準を確立しています

主な機能

  • 再生間のクライオポンプ性能を拡張するFast Regen™機能
  • お使いのクライオポンプをネットワーク化することで同時再生機能を実現し、システム全体の再生を高速化
  • 内蔵マイクロプロセッサ制御による性能強化、通信機能および診断ルーチンの実行
  • 高度なソフトウェアと使いやすいグラフィカルユーザインターフェイスで性能と操作が大幅に向上。

窓口一覧を見るには、Cryogenicsを参照してください。