クライオポンプ

優れた性能とツールアップタイム延長

信頼性とパフォーマンスの世界標準

CTI-Cryogenicsは、さまざまなハイテク研究用途で使用される単一のクライオポンプから、半導体、フラットパネル、光学デバイスの製造で使用される洗練されたクライオポンプシステムまで、極低温高真空技術の世界標準を確立しています

主な特徴

  • 世代間のクライオポンプ性能を延長するFast Regen™ 機能
  • クライオポンプをネットワーク化することで実現する同時再生機能により、システム全体の再生を高速化
  • パフォーマンスを強化し、診断ルーチンを実行し、通信機能を提供する内蔵マイクロプロセッサ制御
  • 高度なソフトウェアと使いやすいGUIにより、パフォーマンスと動作が大幅に向上します。

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