ディスプレイ製造

超高解像度、超薄型、大型、伸縮可能なディスプレイ画面の需要により、ディスプレイ製造におけるより複雑な複合構造と製造プロセスの必要性が高まっています。

エドワーズは、特定の個々のプロセスごとに調整されたディスプレイの真空および除害ソリューションを提供することができます。これらのプロセスには、CVD、ETCH、PVD、イオン注入装置、蒸着、カプセル化、ロードロックなどがあります。

ドライポンプ、ターボ分子ポンプ、および除害システムといった当社の幅広い製品群によって、お客様の基板スループットを最大化する最適なソリューションを構築すると同時に、電力、フットプリント、および重量を最小限に抑え、巨大なサイズのプロセスチャンバーをサポートし、高いガス流量を実現します。

当社は、有毒ガス、発火性ガス、腐食性ガスを確実に排気し、固体プロセスの副産物を安全かつ効率的に処理するサポートをいたします。これは、数十年にわたり世界中のトップレベルのディスプレイファブラインで様々な用途に使用されてきた、当社の深く幅広い経験に基づくものです。

ディスプレイ製造ラインのサブファブとチャンバーのトータルソリューションプロバイダとして、安全で環境に配慮した最適なソリューションの構築をお手伝いします。

このアプローチは、お客様にとっての総所有コストの重要性を完全に理解することで実現されます。