Suché vývěvy na výrobu polovodičů

Ekologičtější, spolehlivější a s nižšími náklady na vlastnictví

Naše inovativní škála suchých vývěv nabízí ty nejmodernější technologie, které vám pomohou podpořit výrobu polovodičů a elektroniky. Každá z nich byla vyvinuta, aby zlepšila výkon v oblasti ochrany životního prostředí, spolehlivost i v těch nejnáročnějších podmínkách a flexibilitu při lehkém provozu.

Řada iXM s nízkou energetickou náročností

Nízkoenergetické suché vývěvy iXM mohou zefektivnit výrobní procesy, a to díky delší provozuschopnosti, nižšímu dopadu na životní prostředí a snížení nákladů na nejkritičtější aplikace.

Pomocí energeticky úsporného Rootsova mechanismu lze snížit příkon až o 60 %, což zapříčiní také omezení dopadu na životní prostředí a snížení nákladů na vlastnictví
Technologie plynové bariéry a vylepšení v oblasti tepelné konstrukce zajišťují čtyřikrát vyšší odolnost proti korozi oproti našim předchozím řadám
Díky pokročilým funkcím manipulace s práškovým materiálem nabízí maximální spolehlivost, prodlouženou životnost vývěv při vícevrstvém leptání a snížení spotřeby energie při chemické depozici z plynné fáze (CVD)
Zvyšuje všestrannost díky kompaktnímu a lehkému provedení, které se vyznačuje mimořádně nízkou hlučností a vibracemi
K dispozici s technologií Xcede, která posiluje odolnost proti korozi

Řada iXH pro náročná prostředí

Řada suchých vývěv iXH stanovuje nové standardy výkonnosti při náročném provozu, spolehlivosti a nízkých nákladů na vlastnictví

Díky širokému teplotnímu rozsahu lze výkon čerpadel optimalizovat, aby nedocházelo k nadbytečnému hromadění vedlejšího produktu při kondenzaci nebo pokovování
Suché vývěvy iXH Mk2 poskytují ještě vyšší životnost v těch nejnáročnějších podmínkách a mohou také podstatně vylepšit energetickou účinnost
Inovativní technologie těsnění vývěv může prodloužit životnost a snížit riziko úniku
K dispozici s technologií Xcede, která posiluje odolnost proti korozi

Řada iXL pro lehký provoz

Řada nízkoenergetických kompaktních suchých vývěv iXL je určená pro lehký provoz a může být využita například při manipulaci s destičkami polovodičů, fyzikální depozici z plynné fáze (PVD) nebo metrologii.

Minimální odstávky komorové vývěvy a mimořádně nízká spotřeba energie
Suché vývěvy iXL600(N) a iXL1000(N) patří mezi nejmenší a nejtišší vývěvy, které jsou v dnešní době pro lehký provoz k dispozici
Vývěvy iXL600M a iXL1000M jsou ozkoušené v praxi a zkonstruované pro použití při dielektrickém (oxidačním) leptání a podobných aplikacích
Vývěvy iXL600(N) a iXL1000(N) jsou vybaveny vysokou rychlostí odsávání a nízkou spotřebou energie
Vývěva iXL900R je nejrychlejší vakuová vývěva ve své třídě, která je momentálně dostupná pro výrobu plochých vakuových obrazovek (FPD). Tato nová vývěva, která zákazníkům umožní výrazně snížit provozní náklady a dobu instalace, je vhodná zejména do největších vakuových komor, v nichž probíhá fyzikální depozice z plynné fáze (PVD). Zákazníci navíc do každé vakuové komory budou potřebovat menší množství čerpadel, což sníží dobu instalace, náklady na systemizaci a údržbu a spotřebu energie.
Pomocí ekologického režimu lze omezit použití vývěv během chodu naprázdno, což má za následek snížení nákladů a podpoření výkonu v oblasti ochrany životního prostředí

Edwards at 23. Škola hmotnostní spektrometrie

We are very proud that the winner of the 2022 Harry Leck Memorial Medal is Dr Andrew Chew.

Nový závod společnosti Edwards pro výrobu kryovývěv bude otevřen v Massachusetts během roku 2022

Představujeme novou inteligentní řídicí jednotku vývěv EJGO od společnosti Edwards

Matching primary and secondary pumps

Vzdálené sledování vakuové vývěvy

Vyhledávač oleje

Applications Knowledge Hub

Analytické přístroje

Chemický a potravinářský průmysl

Výzkum a vývoj

Výroba energie

Průmyslová řešení

Polovodiče

Displej

Obnovitelné zdroje, osvětlení a skladování

Zakázkově vyráběné produkty

Difúzní vývěvy

Olejové vývěvy

Mechanické Rootsovy vývěvy

Průmyslové suchoběžné vývěvy

Malé suchoběžné vývěvy

Turbomolekulární vývěvy

Měření podtlaku

Detekce netěsností

Residual Gas Analysers

Suchoběžné vývěvy pro chemické aplikace

Vacuum Components

Vývěvy pro ultravysoké vakuum

Kapalinokružné vývěvy

iTrap

Turbomolekulární vývěvové stanice

Kryochladiče

Cryopumps

Suché vývěvy na výrobu polovodičů

Environmental Solutions - Abatement

Integrovaná řešení

Oprava vakuové vývěvy

Servis v polovodičovém průmyslu

Safety

Aplikace

Environment

Applications Knowledge Hub

Product Support and Downloads

Suché vývěvy na výrobu polovodičů

Ekologičtější, spolehlivější a s nižšími náklady na vlastnictví