Suché vývěvy na výrobu polovodičů

Celosvětový standard v oblasti vakuových inovací

Ekologičtější, spolehlivější a s nižšími náklady na vlastnictví

Nízkoenergetické suché vývěvy iXM mohou zefektivnit výrobní procesy, a to díky delší provozuschopnosti, nižšímu dopadu na životní prostředí a snížení nákladů na nejkritičtější aplikace.

  • Pomocí energeticky úsporného Rootsova mechanismu lze snížit příkon až o 60 %, což zapříčiní také omezení dopadu na životní prostředí a snížení nákladů na vlastnictví
  • Technologie plynové bariéry a vylepšení v oblasti tepelné konstrukce zajišťují čtyřikrát vyšší odolnost proti korozi oproti našim předchozím řadám
  • Díky pokročilým funkcím manipulace s práškovým materiálem nabízí maximální spolehlivost, prodlouženou životnost vývěv při vícevrstvém leptání a snížení spotřeby energie při chemické depozici z plynné fáze (CVD)
  • Zvyšuje všestrannost díky kompaktnímu a lehkému provedení, které se vyznačuje mimořádně nízkou hlučností a vibracemi
  • K dispozici s technologií Xcede, která posiluje odolnost proti korozi

Řada suchých vývěv iXH stanovuje nové standardy výkonnosti při náročném provozu, spolehlivosti a nízkých nákladů na vlastnictví

  • Díky širokému teplotnímu rozsahu lze výkon čerpadel optimalizovat, aby nedocházelo k nadbytečnému hromadění vedlejšího produktu při kondenzaci nebo pokovování
  • Suché vývěvy iXH Mk2 poskytují ještě vyšší životnost v těch nejnáročnějších podmínkách a mohou také podstatně vylepšit energetickou účinnost
  • Inovativní technologie těsnění vývěv může prodloužit životnost a snížit riziko úniku
  • K dispozici s technologií Xcede, která posiluje odolnost proti korozi

Řada nízkoenergetických kompaktních suchých vývěv iXL je určená pro lehký provoz a může být využita například při manipulaci s destičkami polovodičů, fyzikální depozici z plynné fáze (PVD) nebo metrologii.

  • Minimální odstávky komorové vývěvy a mimořádně nízká spotřeba energie 
  • Suché vývěvy iXL600(N) a iXL1000(N) patří mezi nejmenší a nejtišší vývěvy, které jsou v dnešní době pro lehký provoz k dispozici 
  • Vývěvy iXL600M a iXL1000M jsou ozkoušené v praxi a zkonstruované pro použití při dielektrickém (oxidačním) leptání a podobných aplikacích 
  • Vývěvy iXL600(N) a iXL1000(N) jsou vybaveny vysokou rychlostí odsávání a nízkou spotřebou energie
  • Vývěva iXL900R je nejrychlejší vakuová vývěva ve své třídě, která je momentálně dostupná pro výrobu plochých vakuových obrazovek (FPD). Tato nová vývěva, která zákazníkům umožní výrazně snížit provozní náklady a dobu instalace, je vhodná zejména do největších vakuových komor, v nichž probíhá fyzikální depozice z plynné fáze (PVD). Zákazníci navíc do každé vakuové komory budou potřebovat menší množství čerpadel, což sníží dobu instalace, náklady na systemizaci a údržbu a spotřebu energie.
  • Pomocí ekologického režimu lze omezit použití vývěv během chodu naprázdno, což má za následek snížení nákladů a podpoření výkonu v oblasti ochrany životního prostředí