Naše výrobky

Záleží nám na udržitelnosti a pracujeme na tom, abychom zajistili, že věci, které děláme, a způsoby, jakými je děláme, budou udržitelnější. Provedli jsme několik zásadních změn v návrhu produktů, které zohledňují životní prostředí. Efektivní využívání zdrojů je klíčové pro návrh a vývoj našich produktů, což snižuje náklady na vlastnictví pro zákazníky se zvláštním důrazem na snížení spotřeby energie a vody.

Snížené emise uhlíku u produktů nejnovější generace

Primární vývěvy

Snížení energetické spotřeby v procesech výroby polovodičů. Vývěvy jsou jedním z největších uživatelů energie v procesním nástroji, což může tvořit více než třetinu spotřeby energie ve výrobě (energetický průzkum SEMATECH). Spotřeba energie globální instalované základny polovodičových vývěv odpovídá spotřebě energie města Sheffield ve Velké Británii nebo města Plano v americkém Texasu.

Naše produkt navrhujeme s ohledem na úsporu energie a snižování nákladů na energii, aniž bychom ohrozili spolehlivost. Při použití procesu návrhu platformy každá další generace našich primárních čerpadel spotřebovává méně energie. Například suché pumpy nejnovější generace spotřebují přibližně o 30 % méně energie než dříve. Nedávným zavedením funkce Active Utility Control (AUC) jsme ještě více snížili spotřebu energie a veřejných služeb, když jsou vývěvy nečinné a využívají signály z nástroje.

Zajišťujeme, aby výhody naší technologie platforem nejnovější generace byly použity v celé řadě našich vývěv. Tyto výhody jsou k dispozici zákazníkům, kteří používají vývěvy starší generace, prostřednictvím programů pro zvýšení energetické účinnosti společnosti Edwards.

Zákazníkům také poskytujeme poradenství, jak minimalizovat energii spotřebovanou našimi zařízeními.

Sekundární vývěvy

Snížení celosvětové spotřeby energie je v boji proti globálnímu oteplování klíčové. Kromě minimalizace spotřeby energie, kterou naše výrobní zařízení a kanceláře spotřebovávají, umožňují naše řady vývěv nejnovější generace splnit našim zákazníkům cíle zaměřené na snížení spotřeby energie. Společnost Edwards nabízí programy upgradu, které zákazníkům umožňují přejít na energeticky úspornou technologii turbomolekulární vývěvy.

Příklad výhod přechodu od olejových difuzních vývěv k turbomolekulárním vývěvám STP:

  • Nižší náklady na služby (elektřina a voda)
  • Žádná roční údržba; žádné výměny oleje
  • Vyšší výkonnost čerpání
  • Velmi nízká hlučnost a nízké vibrace
  • Menší požadavky na prostor

Odtah

Při výrobě polovodičů se používají plyny, jako jsou fluorované uhlovodíky a fluorid sírový, které jsou z důvodu svého přetrvávání a vysokého potenciálu globálního oteplování (GWP) značnou hrozbou pro životní prostředí. Tyto látky mohou mít potenciál globálního oteplování tisíckrát vyšší než oxid uhličitý. Například: Má-li CO2 potenciál globálního oteplování (GWP) 1 za 100 let, za stejné časové období - SF6 má GWP 23 500, NF3 má GWP 16 100 a CF4 má GWP 6 630. (Zdroj: Zpráva z pátého hodnocení IPCC, 2014).

Od poloviny 90. let pomáháme našim zákazníkům dosáhnout vysoké úrovně účinnosti v odstraňování těchto látek pomocí naší technologie zaměřené na snižování spalovacích procesů. V poslední době byli naši zákazníci díky plazmové technologii schopni dosáhnout snížení emisí CO2 o více než 90 % v rámci všech výrobních procesů, což je v souladu s cíli Světové rady pro polovodiče. Pro výrobu plochých panelů a nových ekologických zařízení, jako jsou solární panely a LED osvětlení, jsme vyvinuli systémy na snižování emisí Spectra Z a Spectra G, které se umí vypořádat s vyššími toky plynu.

Naše produkty na snížení emisí spotřebují až o 50 % méně paliva než předchozí řady. Společnost Edwards také nabízí technologii Atlas jako energeticky účinnou modernizaci předchozích řad produktů na snižování emisí. Použitím systémů snižování emisí u našich vývěv jsme také schopni šetřit energii prostřednictvím inovativní technologie „nečinného režimu“.