提高生產力，同時降低成本與環境影響
在持續改善的過程中，我們會規劃升級項目，協助客戶提升機器效能，降低擁有成本，並達成他們的永續發展目標。
- 保護設備效能
- 最小化整體擁有成本
- 環境升級
保護設備效能
升級旨在改善您的機器效能並提高您的作業生產力
Maglev 渦輪泵浦的工具上微粒減少升級
為了持續改善客戶的生產力和產量，我們設計了一系列解決方案，使客戶能夠使用三種工具上技術（我們的防迴圈技術、轉子杯蓋和高溫泵浦）來減少半導體應用中的晶圓上顆粒污染。
防回退技術
在生產過程中，顆粒可能會從渦輪泵浦回流到腔室中，可能污染晶圓並降低生產力。我們的 Anti-Recoil 技術可讓顆粒輕鬆通過渦輪泵浦進入排氣管，大幅減少顆粒污染。
轉子杯蓋
為了防止轉子杯上（渦輪泵浦入口處）的腐蝕和微粒堆積，我們開發了耐腐蝕的轉子杯蓋，可防止沉積物的形成和不銹鋼組件的腐蝕。
高溫泵浦
微粒污染的另一個來源是渦輪泵浦內部的沉積物，這也會讓微粒回流通過渦輪泵浦並進入腔室。使用高溫泵浦時，氣體路徑會加熱至極高溫度，減少沉積物的形成。這些泵浦在轉子和定子等關鍵真空元件上具有特殊的高散熱塗層，並且其溫度曲線經過持續優化，以獲得最佳結果。
所有三種微粒減少技術均可在我們的服務技術中心進行定期泵浦維修時安裝，以確保客戶能夠最佳化新設備及其現有安裝基礎的生產力。
透過 EUV 泵浦升級提高半導體產量
在競爭激烈的半導體製造業中，在管理製造設施能源成本的同時最大限度地提高生產力至關重要。我們的 EUV 乾泵升級旨在顯著提高您的設備性能，確保最佳的半導體產量提高。透過整合先進的半導體設備服務，我們的升級不僅提高了半導體製造的產量，而且還有助於大幅節能。這種改善半導體製程的整體方法可確保您的製造設施以最高效率運作。
透過 EUV 泵浦升級來改善半導體產能
在競爭激烈的半導體製造業中，在管理製造設施能源成本的同時將生產力最大化，可謂至關重要。我們的 EUV 乾式泵浦升級為的是顯著提升設備效能，確保半導體產能提高到最佳狀態。藉由整合先進的半導體設備服務，我們的升級不僅能提高半導體製造的產能，也有助於大幅節省能源。這種能夠改善半導體製程的全方位方法，可確保您的製造設施以最高效率運作。
適用於嚴苛製程的 XCEDE 乾式泵浦保護
XCEDE 的乾式泵保護技術可防止關鍵泵浦組件腐蝕，增加平均檢修間隔，充分延長客戶設施的正常運行時間。本技術縝密結合表面處理與精密工程知識，優於所有競爭對手方法，可降低愛德華 iH、iXH 與 iXM 系列泵浦機構內的化學與機械磨損。
最小化整體擁有成本
精心設計的升級可延長平均檢修間隔，提升設備機隊效率，進而降低整體擁有成本。
減排設備 Porous Head
愛德華開發 Porous Head，這是一款現場檢修升級技術，採用燒結多孔金屬塊，可均勻噴出空氣，對表面進行迫淨，減少粉末積聚風險。此裝置取代了傳統的陶瓷絕緣頭。
在排氣過程中，固體 (通常是粉末) 可能會堆積在系統的不當區域，例如進氣頭的底面。這些堆積的粉末會妨礙製程氣體流動，導致頻繁定期檢修。在一年的高強度製程中，這類粉末堆積可能造成超過九次停機檢修，導致人工與備用零件用量增加，進而提高擁有成本。
使用多孔頭升級的客戶，平均每年的維修間隔時間從十個改為兩個。對於沒有備援廢氣處理系統的客戶而言，這平均每年消除了 64 小時的工具停機時間，進而增加了 $150 萬的產出。
擁有備用排氣系統的客戶，則可減少對備用系統的依賴，大幅節省備用零件、保養人力，同時提高能源效率。
Liner Pro：新一代燃燒器改裝
半導體製造廠面臨著不斷的壓力，以降低意外停機的風險、控制維護成本並提高營運效率。Liner Pro 是一款堅固耐用的廢氣處理襯裡，專為解決廢氣處理系統中燃燒器襯裡維護的重複性挑戰而設計。它現在也是一種可重複使用的組件，可支援您的永續發展工作。透過將 Liner Pro 整合到服務計畫中，您可以簡化操作、降低總擁有成本，並在要求嚴苛的製程中維持高性能。
服務
設備中若有使用超過五年的，無論機械效能如何，重要電子儀器都有意外故障的風險，而機械效能主要是靠有效的維護機制來保持。
愛德華終身服務解決方案是汰換機具和延長機隊壽命的絕佳選擇。終身服務涵蓋所有主要系統電子零件並提供延長保固，讓您的設備持續運轉多年。
我們的全球服務技術中心網路均有提供終身服務。
環境升級
精心設計的升級可增加設備機隊使用壽命，降低對環境的影響，協助您達成永續性目標。
透過我們的節能升級降低製造業的能源成本
iXH1210 愛德華乾式泵浦升級可輕鬆更換，不會增加現場團隊的工作，在升級過程中也不會造成停機損失。
此升級可為您節省將近三分之一的執行能源成本，能減少更多碳排放，有助於減輕環境衝擊，讓您達成環保目標。我們稱之為節能升級，可說是名副其實。
現在請想像一下，將這些數字乘上您晶圓廠中可升級的泵浦數量？
此外，我們的客戶還能獲得額外好處，可透過愛德華智慧服務升級程序來完成升級，因此不需要為新泵浦規劃資本。
EUV 節能泵浦升級
在半導體製造領域中，永續性變得越來越重要。我們的 EUV 乾式泵浦升級經過精心設計，可顯著降低 EUV 製程的能耗及 EUV 耗電量，藉此支援永續發展。透過升級泵浦，您可以最佳化製程的能源效能，在提高生產力的同時實現大幅節能。
歡迎參閱以下客戶成功故事，瞭解有關 EUV 節能的更多資訊：
熱交換器
整廠冷卻水污染是由於排氣系統缺少嚴格維護排程所導致的風險。在許多系統中，熱交換器容易受到酸性製程的化學物質腐蝕而損壞，這可能導致污染物洩漏到整廠製程冷卻水中。這種污染可能損壞其他使用相同冷卻水迴路的製程設備。此外，由於棄置這類化學物質會造成危害，因此也會對環境帶來風險。
熱交換器現場服務升級套件是一項有效的解決方案，可將既有銲製型熱交換器改造為新型板件和墊圈設計，而無需對系統進行重大修改。相較於原本的熱交換器，此設計可提供更佳的抗酸蝕能力，延長約五至十倍的使用壽命，並降低晶圓廠冷卻水污染的風險。
