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殘留氣體分析儀

高階性能與可及性之間的完美平衡

愛德華 RGA 殘留氣體分析儀

我們的全新 RGA 包含兩種機型:兩者都可簡單有效操作,確保其性能與效率上的優異   

對於需要快照視圖的用戶,這些裝置具有獨特的機載顯示螢幕,可以在不透過筆記型電腦進行連接的情況下,顯示主要的氣體類型以及系統的整體壓力。

PRA 主要氣體分析儀

為您提供高階性能與可及性之間的完美平衡。

  • 有四種機型可供選擇,無論您需要的是基本機型或是靈敏度/範圍較高的機型,皆可符合您的需求。
  • PRA 是分析您製程的完美起點。

WRA 各式殘留氣體分析儀

頂級機型,擁有領先市場的規格。

  • 提供兩種機型:1-200 或 1-300 amu,讓您可測量來自製程的各種氣體/副產物。 
  • 相較於 PRA,它具有更高的靈敏度,因此可以提高測量準確度。

總壓力測量

完整製程控制

雙燈絲

最高可靠性與正常運行時間

機載顯示器

不需 PC 的基本測量

客戶可更換零件
除氣功能
離子源和 EM 防護
RGA 可分析氣體及其化合物,為以下製程所需:

  • 滲漏檢測與識別
  • 尋找並識別污染物 
  • 驗證氣體純度
  • 產品/製程品質保證
  • 製程與設備診斷與控制
  • 優化製程效能與產出

廣泛範圍應用的完美解決方案:

  • 半導體製程
  • 薄膜與顯示器
  • 真空熱處理
  • 真空冷凍乾燥
  • 研究與開發
  • 高能物理