半導體乾式真空泵浦

真空創新的全球基準

更環保、可靠性更加、總體成本更低

iXM 低能耗乾式泵浦可為您的最關鍵應用帶來真正的過程改進,從而增加正常運行時間,減少對環境的影響並降低成本。

  • 節能根源機制可以減少多達 60% 的輸入功率,從而減少對環境的影響並降低擁有成本
  • 氣體阻隔技術和熱設計方面的改進使抗腐蝕性比以前的系列提高了四倍
  • 先進的粉末處理功能可為多層蝕刻工藝提供最大的可靠性並延長泵浦的使用壽命,還可減少 CVD 工藝的功耗
  • 緊湊輕巧的設計,加上極低的噪音和振動,為您帶來更多功能
  • 提供 Xcede 技術以增強抗腐蝕性。

iXH 乾式泵浦系列為嚴苛製程能力、穩定度、低擁有成本設定了新標準。

  • 寬溫度範圍使您可以優化泵浦,以盡量減少凝結和電鍍過程中產生的副產物積累
  • iXH Mk2 乾式泵浦在極嚴苛的製程中提供更長的使用壽命,並且可以顯著提高功率效率
  • 創新的泵浦密封技術可以延長過程壽命並降低洩漏風險
  • 提供 Xcede 技術以增強抗腐蝕性。

iXL 系列是一系列低功耗緊湊型乾式泵浦,適用於輕型應用,例如晶圓處理、PVD 和計量。

  • 快速的製程室抽氣和極低的功耗 
  • iXL600(N) 和 iXL1000(N) 乾式泵浦是可用於輕型應用的最小、最安靜的泵浦之一 
  • iXL600M 和 iXL1000M 變型經過了工藝加固,經專門設計用於介電(氧化物)蝕刻和其他類似應用 
  • iXL600(N) 和 iXL1000(N) 乾式泵浦具有高抽吸速度和低能耗的特點
  • iXL900R 是目前同類產品中最快的預載式泵浦,適用於 FPD 預載式應用。客戶可以使用這款新型泵浦顯著降低其運營成本和安裝時間,該泵浦特別適合用於等離子氣相沉積 (PVD) 應用所用的最大負載鎖定室。此外,客戶將需要減少每個負載鎖定室的泵浦,從而減少安裝時間、系統化成本、維護和公用工程消耗。
  • 閒置時可使用節能模式來降低能源的使用量,以降低基本能源成本,並幫助改善環境績效