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iX 乾式泵浦

更環保、更可靠、擁有成本更低

  • iXM 系列 – 低耗能、高效能
  • 適用於嚴苛環境的 iXH 系列
  • 適用於輕型應用的 iXL 系列
iXM 系列 – 低耗能、高效能

愛德華 iXM 低能耗系列乾式泵浦可為您的最關鍵應用帶來真正的流程改良,從而增加正常運行時間,減少環境衝擊並降低成本。

  • 節能魯式機制可以減少多達 60% 的輸入功率,從而減少環境衝擊並降低擁有成本
  • 氣體阻隔技術和熱設計方面的改良,使抗腐蝕性比起先前系列提高了 4 倍
  • 先進的粉末處理功能可為多層蝕刻製程提供最高可靠性,並實現更長的泵浦壽命 
  • 降低 CVD 製程功耗
  • 小巧輕量的設計,加上極低的噪音和振動,賦予您更廣泛的用途
  • iXM 系列提供 XCEDE 技術以增強抗腐蝕性。

     
Edwards iXM dry pump front and angled view side cover removed
適用於嚴苛環境的 iXH 系列

iXH 乾式泵浦系列為嚴苛製程能力、穩定度、低擁有成本樹立了新標準。

  • 寬溫度範圍使您可以優化泵浦,以盡量減少凝結和電鍍過程中產生的副產物積累
  • iXH Mk2 乾式泵浦在極嚴苛的製程中提供更長的使用壽命,並可顯著提升功率效率
  • 創新的泵浦密封技術可以延長製程壽命並降低洩漏風險
  • 提供 XCEDE 技術以增強抗腐蝕性。

     
Edwards iXH semiconductor dry pumps
適用於輕型應用的 iXL 系列

iXL 系列是一系列低功耗精巧型乾式泵浦,適用於輕型應用,例如晶圓處理、PVD 和量測。

  • 快速的製程室抽氣、極低的功耗 
  • iXL600(N) 和 iXL1000(N) 乾式泵浦是可用於輕型應用的最小、最安靜的泵浦之一 
  • iXL600M 和 iXL1000M 機型經過加固,專門設計用於介電(氧化物)蝕刻和其他類似應用 
  • iXL600(N) 和 iXL1000(N) 乾式泵浦具有高抽吸速度和低能耗的特點
  • iXL900R 是目前同類產品中最快的預載式泵浦,適用於 FPD 預載式應用。客戶可以使用這款新型泵浦顯著降低營運成本和安裝時間,該泵浦特別適合用於等離子氣相沉積 (PVD) 應用所使用的最大緩衝區腔體。此外,客戶可減少每個緩衝區腔體需要的泵浦數,從而減少安裝時間、系統化成本、維護和電力消耗。
  • 閒置時可使用節能模式來降低能源的使用量,以降低基本能源成本,並幫助改善環境績效

愛德華 iXM 低能耗系列乾式泵浦可為您的最關鍵應用帶來真正的流程改良,從而增加正常運行時間,減少環境衝擊並降低成本。

  • 節能魯式機制可以減少多達 60% 的輸入功率,從而減少環境衝擊並降低擁有成本
  • 氣體阻隔技術和熱設計方面的改良,使抗腐蝕性比起先前系列提高了 4 倍
  • 先進的粉末處理功能可為多層蝕刻製程提供最高可靠性,並實現更長的泵浦壽命 
  • 降低 CVD 製程功耗
  • 小巧輕量的設計,加上極低的噪音和振動,賦予您更廣泛的用途
  • iXM 系列提供 XCEDE 技術以增強抗腐蝕性。

     
Edwards iXM dry pump front and angled view side cover removed

iXH 乾式泵浦系列為嚴苛製程能力、穩定度、低擁有成本樹立了新標準。

  • 寬溫度範圍使您可以優化泵浦,以盡量減少凝結和電鍍過程中產生的副產物積累
  • iXH Mk2 乾式泵浦在極嚴苛的製程中提供更長的使用壽命,並可顯著提升功率效率
  • 創新的泵浦密封技術可以延長製程壽命並降低洩漏風險
  • 提供 XCEDE 技術以增強抗腐蝕性。

     
Edwards iXH semiconductor dry pumps

iXL 系列是一系列低功耗精巧型乾式泵浦,適用於輕型應用,例如晶圓處理、PVD 和量測。

  • 快速的製程室抽氣、極低的功耗 
  • iXL600(N) 和 iXL1000(N) 乾式泵浦是可用於輕型應用的最小、最安靜的泵浦之一 
  • iXL600M 和 iXL1000M 機型經過加固,專門設計用於介電(氧化物)蝕刻和其他類似應用 
  • iXL600(N) 和 iXL1000(N) 乾式泵浦具有高抽吸速度和低能耗的特點
  • iXL900R 是目前同類產品中最快的預載式泵浦,適用於 FPD 預載式應用。客戶可以使用這款新型泵浦顯著降低營運成本和安裝時間,該泵浦特別適合用於等離子氣相沉積 (PVD) 應用所使用的最大緩衝區腔體。此外,客戶可減少每個緩衝區腔體需要的泵浦數,從而減少安裝時間、系統化成本、維護和電力消耗。
  • 閒置時可使用節能模式來降低能源的使用量,以降低基本能源成本,並幫助改善環境績效

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