我們的創新乾式泵浦系列可為您提供改善半導體和電子產品製造環境的尖端技術。
每個系列都經過專門設計,可帶來環境績效、嚴苛條件下的可靠性,以及在輕型應用中的敏捷性等優勢。
愛德華 iXM 低能耗系列乾式泵浦可為您的最關鍵應用帶來真正的流程改良,從而增加正常運行時間,減少環境衝擊並降低成本。
iXH 乾式泵浦系列為嚴苛製程能力、穩定度、低擁有成本樹立了新標準。
iXL 系列是一系列低功耗精巧型乾式泵浦,適用於輕型應用,例如晶圓處理、PVD 和計量。
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