半導體乾式真空泵浦

更環保、更可靠、擁有成本更低

我們的創新乾式泵浦系列可為您提供改善半導體和電子產品製造環境的尖端技術。

每個系列都經過專門設計，可帶來環境績效、嚴苛條件下的可靠性，以及在輕型應用中的敏捷性等優勢。

iXM 系列 – 低耗能、高效能
適用於嚴苛環境的 iXH 系列
適用於輕型應用的 iXL 系列

iXM 系列 – 低耗能、高效能

愛德華 iXM 低能耗系列乾式泵浦可為您的最關鍵應用帶來真正的流程改良，從而增加正常運行時間，減少環境衝擊並降低成本。

節能魯式機制可以減少多達 60％的輸入功率，從而減少環境衝擊並降低擁有成本
氣體阻隔技術和熱設計方面的改良，使抗腐蝕性比起先前系列提高了 4 倍
先進的粉末處理功能可為多層蝕刻製程提供最高可靠性，並實現更長的泵浦壽命
降低 CVD 製程功耗
小巧輕量的設計，加上極低的噪音和振動，賦予您更廣泛的用途
iXM 系列提供 XCEDE 技術以增強抗腐蝕性。

Edwards iXM dry pump front and angled view side cover removed

適用於嚴苛環境的 iXH 系列

iXH 乾式泵浦系列為嚴苛製程能力、穩定度、低擁有成本樹立了新標準。

寬溫度範圍使您可以優化泵浦，以盡量減少凝結和電鍍過程中產生的副產物積累
iXH Mk2 乾式泵浦在極嚴苛的製程中提供更長的使用壽命，並可顯著提升功率效率
創新的泵浦密封技術可以延長製程壽命並降低洩漏風險
提供 XCEDE 技術以增強抗腐蝕性。

適用於輕型應用的 iXL 系列

iXL 系列是一系列低功耗精巧型乾式泵浦，適用於輕型應用，例如晶圓處理、PVD 和計量。

快速的製程室抽氣、極低的功耗
iXL600(N) 和 iXL1000(N) 乾式泵浦是可用於輕型應用的最小、最安靜的泵浦之一
iXL600M 和 iXL1000M 機型經過加固，專門設計用於介電（氧化物）蝕刻和其他類似應用
iXL600(N) 和 iXL1000(N) 乾式泵浦具有高抽吸速度和低能耗的特點
iXL900R 是目前同類產品中最快的預載式泵浦，適用於 FPD 預載式應用。客戶可以使用這款新型泵浦顯著降低營運成本和安裝時間，該泵浦特別適合用於等離子氣相沉積 (PVD) 應用所使用的最大負載鎖定室。此外，客戶可減少每個負載鎖定室需要的泵浦數，從而減少安裝時間、系統化成本、維護和電力消耗。
閒置時可使用節能模式來降低能源的使用量，以降低基本能源成本，並幫助改善環境績效

iXM 系列 – 低耗能、高效能

愛德華 iXM 低能耗系列乾式泵浦可為您的最關鍵應用帶來真正的流程改良，從而增加正常運行時間，減少環境衝擊並降低成本。

節能魯式機制可以減少多達 60％的輸入功率，從而減少環境衝擊並降低擁有成本
氣體阻隔技術和熱設計方面的改良，使抗腐蝕性比起先前系列提高了 4 倍
先進的粉末處理功能可為多層蝕刻製程提供最高可靠性，並實現更長的泵浦壽命
降低 CVD 製程功耗
小巧輕量的設計，加上極低的噪音和振動，賦予您更廣泛的用途
iXM 系列提供 XCEDE 技術以增強抗腐蝕性。

適用於嚴苛環境的 iXH 系列

iXH 乾式泵浦系列為嚴苛製程能力、穩定度、低擁有成本樹立了新標準。

寬溫度範圍使您可以優化泵浦，以盡量減少凝結和電鍍過程中產生的副產物積累
iXH Mk2 乾式泵浦在極嚴苛的製程中提供更長的使用壽命，並可顯著提升功率效率
創新的泵浦密封技術可以延長製程壽命並降低洩漏風險
提供 XCEDE 技術以增強抗腐蝕性。

適用於輕型應用的 iXL 系列f

iXL 系列是一系列低功耗精巧型乾式泵浦，適用於輕型應用，例如晶圓處理、PVD 和計量。

快速的製程室抽氣、極低的功耗
iXL600(N) 和 iXL1000(N) 乾式泵浦是可用於輕型應用的最小、最安靜的泵浦之一
iXL600M 和 iXL1000M 機型經過加固，專門設計用於介電（氧化物）蝕刻和其他類似應用
iXL600(N) 和 iXL1000(N) 乾式泵浦具有高抽吸速度和低能耗的特點
iXL900R 是目前同類產品中最快的預載式泵浦，適用於 FPD 預載式應用。客戶可以使用這款新型泵浦顯著降低營運成本和安裝時間，該泵浦特別適合用於等離子氣相沉積 (PVD) 應用所使用的最大負載鎖定室。此外，客戶可減少每個負載鎖定室需要的泵浦數，從而減少安裝時間、系統化成本、維護和電力消耗。
閒置時可使用節能模式來降低能源的使用量，以降低基本能源成本，並幫助改善環境績效

進一步閱讀愛德華真空如何為永續發展貢獻己力。

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