超高真空システム

超高真空ポンプ

地球上で最も清浄な真空環境を生み出す

Gamma真空ポンプ - 超高真空技術

Edwardsは、UHVイオンポンプ、チタンサブリメーションポンプ、非蒸発性ゲッタポンプの各種製品およびGamma Vacuum社製のアクセサリを提供しています。

Gamma Vacuumチタンイオンポンプ
イオンポンプ

イオンポンプ (別名スパッタイオンポンプまたはイオンゲッターポンプ) は、アノード/カソードアレイを使用してガスをイオン化するキャプチャポンプです。イオンスパッター反応性カソード材料、イオン化されたガスを固体化合物に変える化学反応を発生。これらの化合物は真空システムの圧力に影響しなくなり、恒久的にイオンポンプ内に捕捉されます。イオンポンプは10-5~10-12 mbarで動作でき、窒素0.2~1,200 l/sのサイズです。

Gamma Vacuumチタンサブリメーションポンプ
チタンサブリメーションポンプ

TSPは、チタンフィラメントを加熱し、表面にチタン分子を昇華 (固体から気体状態への変換) させることで動作します。昇華されたチタン分子は、酸素および窒素のような反応性ガスと化学的に反応し、水素を解離して拡散するために利用されます。TSP製品は10-5~10-12 mbarで動作でき、水素10,000 l/sを超える排気速度を有しています。

NEGカートリッジN200
非蒸発性ゲッターポンプ

NEGはプレスされた固体基板または焼結ディスクの反応性金属です。ジルコニウム、バナジウムおよび鉄の固有の組み合わせは、HVおよびUHV環境に最も適していることが証明されています。使用材料の量によりNEGポンプの速度および容量が制御されますが、55から412 l/s、および630~3600 Torr l/sの能力範囲が一般的です。NEGが気体で飽和すると、大気にベントさせずに再活性化させます。

機械的振動を除去

キャプチャポンプには可動部品がありません。可動部品や電気ノイズの振動は除外されています。

高い放射線耐性

キャプチャポンプは108グレイを超える耐放射線性材料で作られています。コネクタとケーブルもまた耐放射線材料で製造されているため、長年の連続動作に耐えます。

高温許容度

特別な注意事項がない限り、キャプチャポンプは250℃まで加熱できます。磁石を取り外すことで、450 ℃までさらにベーキングできます。長時間の高温加熱はどのUHVシステムにも重要です

定期的保守が不要

キャプチャポンプは実質的に保守が不要で、大気から密閉されているため、費用の掛かる真空維持をさけ、時間、コスト、およびリソースの節約となります

低い初期運転コスト

仕様が類似した他のタイプの真空ポンプより初期費用が低く抑えられます。使用電力は最低限またはなしで抑えられるため長年低いコストで稼働

Gamma Vacuum社製イオンポンプの仕組み

イオンポンプは真空キャプチャポンプです。この動画では、その動作の基本原則を説明しています。イオンポンプを始めて使う方には非常に参考になります。ぜひご覧ください。素粒子物理学に精通した方には、この技術を初心者向けに見せるために工夫を重ねた創造性を気に入っていただけると思います。

Loading...

Gamma Vacuum社製イオンポンプ要素スタイル

イオンポンプは真空キャプチャポンプです。この動画では、従来のダイオード (CV)、ディファレンシャルダイオード (DIまたはノーブルダイオード)、およびトリオード (TR) スタイルのイオンポンプ要素の違いを説明しています。

Loading...

Gamma Vacuum社製チタンサブリメーションポンプ動作

チタンサブリメーションポンプ (TSP) を使用して高真空、超高真空システムから気体分子を除去する方法の基本的な説明です。TSPは一般的にイオンポンプと組み合わせて使用されます。この動画には音声がありません。

Loading...

Gamma Vacuum社製非蒸発性ゲッタ (NEG) 動作

チタンサブリメーションポンプ (TSP) を使用して高真空、超高真空システムから気体分子を除去する方法の基本的な説明です。TSPは一般的にイオンポンプと組み合わせて使用されます。*この動画には音声がありません。*

Loading...
Edwardsの製品 & オンライン購入