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温室ガスの除害における新たなベンチマーク
Edwards Proteusは、天然ガスやその他の炭化水素を使用せずに、PFCおよびその他の地球温暖化ガスの効果的な処理を可能にします。
Proteusは半導体製造のCO2排出量を削減するための、低電力消費で使いやすくコスト効率に優れたソリューションです。