エドワーズ Proteus
エドワーズ Proteusは、天然ガスやその他の炭化水素を使用せずに、PFCおよびその他の地球温暖化ガスの効果的な処理を可能にします。
Proteusは半導体製造のCO2排出量を削減するための、低電力消費で使いやすくコスト効率に優れたソリューションです。
- 低出力、高効率のプラズマ技術
- プラズマパワー変調機能
- 低NOx低濃度排出可
- 長期のMTBS
- Proteus Dualによるアップタイム保護
- CF4などのPFCガスやSF6、NF3、N2Oなどのその他の地球温暖化ガスの高破壊率効率（DRE）を達成する、独自の低消費電力プラズマ技術。これにより、Proteusは、半導体製造プロセスによる地球温暖化ガスの除害に最もコスト効率の高いソリューションの1つとなります。
- Proteusプラズマの動作電力は、流入するガス負荷に応じて完全に調整できるため、ユーザーは消費電力を最小限に抑えながら最適な処理効率を維持することができます。プロセスツールおよび自動プラズマパワー変調とのインターフェイスにより、最高の環境性能を維持しながら、運転コストを削減するためのさらなる機会が提供されます。
- PFCガスの排除には、NOxガスの形成を促進する高温が必要です。Proteusプラズマ技術は、「熱NOx」排出を最小限に抑えるように開発され、現在では最先端の「低NOx」PFC除害システムの1つとして機能しています。
- PFC分子が破壊されると、毒性および腐食性のある水溶性化合物が生成されるため、酸負荷が増加する傾向があります。Proteusプラズマトーチおよび湿式スクラビング段階は、コンポーネントの腐食を最小限に抑えるよう特別に設計されています。Proteusは優れた粉末処理能力と組み合わせることで、製造工場内の安全な作業環境を維持しながら、長MTBSを実現します。
- Proteus Dualは、完全に統合された「バックアップ」ソリューションを提供し、複雑な配管やインターフェイスを必要とせずに、確実な可用性を実現します。Proteus Dualは、費用対効果が高く、簡単に設置できるソリューションです。これにより、プロセスの稼働時間を維持し、設置面積と設置コストを削減しながら、サブファブの安全性を向上させることができます。
Proteusがどのように環境目標の達成に役立つかご相談ください。
