Your browser is not supported

ご利用のブラウザはサポートされておりません。当社のWebサイトを引き続きご覧になるためには、次のサポートされたブラウザをご利用ください。

アクティブゲージおよびコントローラ

アクティブ逆マグネトロンゲージ

エドワーズの実証済み技術:用途のニーズに合わせて最適なゲージをお選びください。

英国にあるエドワーズの生産施設では、数十年にわたり真空計の設計と製造を行ってきました。この経験を活かし、性能を低下させることなく、パッケージサイズを25%縮小した新しいゲージシリーズを開発しました。

LEDライトリングの視覚圧力インジケータやセットポイントリレーなど、さまざまなアップグレードと機能強化により、さまざまなノックオンアクションが可能になりました。

次世代のゲージ:

 

 

アクティブピラニゲージ

アクティブピラニゲージ(APG200)は、より小型で柔軟性の高い出力を活用できる分析機器分野から、新しいインターフェイスとライトリングでシステムのメンテナンスを改善できる半導体分野、さらにはローカル圧力表示でメインインターフェイスから離れた場所でも実験を監視できる研究開発分野に至るまで、あらゆる真空市場に適しています。 

  • 360°LEDライトリング圧力インジケータ
  • コンパクトサイズ
  • 長いフィラメント
  • 内蔵フィルタ
  • 幅広い互換性
  • 15~48V電源
  • デジタル/アナログ
  • セットポイントリレー
エドワーズ APG200ゲージ

アクティブピラニゲージ(APG)

左にスワイプしてすべて表示

アクティブ逆マグネトロンゲージ

エドワーズ アクティブ逆マグネトロン(AIM)ゲージ

アクティブ逆マグネトロンゲージ(AIM)

アクティブ逆マグネトロン(AIM200)ゲージは、1 x 10-2 ~1 x 10-9 mbarの真空範囲を正確に測定します。堅牢で、科学機器から産業プロセスに至るまで幅広い用途で高い信頼性があります。

AIM200ゲージは、逆マグネトロンゲージヘッドとゲージコントローラを1つのコンパクトユニットに統合したものです。また、非常に低い外部磁場で、優れた衝撃メカニズムを備えているため、高感度分析機器との併用や、感度の高い機器の近くにゲージを取り付ける必要がある用途に最適です。

  • 360°LEDライトリング圧力インジケータ
  • 省スペース
  • マルチポイントスターストライカー
  • 外部コントローラ不要
  • ドライバの使用が可能
  • 幅広い互換性
  • 15~48V電源
  • 新しいマグネット
  • セットポイントリレー
  • Cクランプ対応の派生型

左にスワイプしてすべて表示

ワイドレンジゲージ(冷陰極/ピラニ)

ワイドレンジゲージ(WRG200)は、大気圧から10-9 mbarまでの範囲でシングルポート圧力測定が可能であり、初期チャンバーポンプダウンだけでなく、プロセス圧力もすべて1つで処理できます。

WRG200ゲージは、最新のフィラメントピラニおよび冷陰極技術を利用しているため、科学機器から半導体および産業プロセスに至るまで、幅広い用途で堅牢かつ高い信頼性があります。WRGは、一体型ゲージで、低真空センサーから高真空センサーへの切り替えを自動的に行うことができます。また、漂遊磁場が低く、周囲環境への干渉を防ぎます。

  • 360°LEDライトリング圧力インジケータ
  • 省スペース
  • フィラメントテクノロジー
  • 外部コントローラ不要
  • ドライバの使用が可能
  • 幅広い互換性
  • 15~48V電源
  • 新しいマグネット
  • セットポイントリレー
  • Cクランプ対応の派生型
エドワーズワイドレンジゲージ(冷陰極/ピラニ)(WRG)

ワイドレンジゲージ(冷陰極/ピラニ)(WRG)

オリジナル世代のゲージ:

アクティブリニアコンベクション真空ゲージ(APGX-H)

アクティブリニアコンベクション真空ゲージ(APGX-H)

アクティブリニアコンベクション真空ゲージ

アクティブリニアコンベクション真空ゲージ(APGX-H)は、1333~3 x 10-4 mbarの幅広い範囲を測定できます。対流技術の採用により、100 mbarを超えると精度が低下する従来のピラニゲージと比べて、圧力範囲の上限まで精度と感度を維持します。このゲージは、コンパクトで、あらゆる方向に取り付けることができるため、スペースの限られた場所でも簡単に設置できます。

アクティブイオンゲージ

アクティブイオンゲージ(AIGX)は、デュアルイットリアコーティングイリジウムフィラメント、6.6 x 10-2~6.6 x 10-10 mbarの幅広い測定範囲、1 V/Decade直線出力を備えたコンパクトなアクティブイオンゲージです。AIGXには、電子機器が内蔵されており、交換可能なチューブを備えており、業界標準のアクティブゲージのコンセプトのすべての利点を備えています。このゲージにはガス抜き機構があり、フィラメントを保護して寿命を延長する機能があります。AIGXは、荷電粒子の排出量が極めて少ないため、周囲の雑音が望ましくないプロセスに最適です。

エドワーズ ワイドレンジゲージ(WRG)

アクティブイオンゲージ(AIGX)

エドワーズ アクティブホットカソードワイドレンジゲージ(WRH)

アクティブホットカソードワイドレンジゲージ(WRH)

アクティブホットカソードワイドレンジゲージ

アクティブホットカソードワイドレンジゲージ(WRH)は、精度と再現性を備えた単一のゲージで、大気から10-10 mbarまで測定する機能があります。WRHゲージは、1つのパッケージで2つの測定方法(ベヤードアルパート&ピラニ)を使用して、システムの測定と制御に必要なすべてを提供します。D-SUBコネクターによるアナログ出力とRS485出力、2つのオンボード・リレー、簡単な校正により、制御とモニタリングは簡単です。

付属のソフトウェアを使用すると、システムの性能を簡単にトラッキングして記録したり、設定値の設定や出力スケーリングの変更など、ゲージ動作を調整したりできます。このゲージは、研究開発機関から高度な質量分析、一般産業に至るまで、多くの用途に最適です。

システムを柔軟にカスタマイズ:

すべてのプロセスには固有の要件があるため、お客様のニーズに合った最適なゲージを選択できるよう、複数のゲージタイプをご用意しています。 

エドワーズの頑丈なAPG200ピラニゲージは、大気圧~1 x 10­4 mbarまで測定可能な標準または耐腐食性タイプ、大気圧~1 x 10-9 mbarまで測定可能なWRGコールドカソード/ピラニコンビネーションゲージをご用意しています。

コントローラ - システムのローカルディスプレイと制御

  • 標準的なソリューションをご希望のお客様には、ADCシリーズによるベーシックなシングル/デュアルヘッドゲージディスプレイをご用意しています。 
  • より高度な接続性と制御性をご希望のお客様には、TICシリーズをご用意しています。これにより、最大6個のゲージヘッドを制御し、RS232インターフェイス/セットポイント出力により、システム内の他のアクションを起動できます。 
  • 小型ドライポンプシリーズとnEXTターボ分子ポンプシリーズを制御できるタイプもご用意しています。これにより、小規模なシステム構築が可能です。

アクティブゲージシリーズ

主な特徴

  • ユニバーサルコントローラ:各コントローラは各種アクティブゲージタイプを制御できます
  • 校正:エドワーズのすべてのゲージに校正証明書をお付けできます。 
  • サービス:各ゲージのサービス手順は簡単で、ほとんどのプロセスでツールが不要です

製品動画をご覧ください!

エドワーズのお客様の声

AIM200 Active Inverted Magnetron Gauge - Datasheet

PDF

2.2 MB

WRG200 Active Wide Range Gauge - Datasheet

PDF

2.5 MB

TIC Turbo and Instrument Controller - Datasheet

PDF

588.5 kB

Vacuum Measurement and Control - Brochure

PDF

1.8 MB

笑顔で廊下に立つEdwardsの従業員
サービスソリューション

サービスソリューション製品の詳細をご覧ください