Sulle soluzioni per camere
Basse vibrazioni e zero manutenzione
Se hai bisogno di prestazioni costanti ed affidabili con zero manutenzione, la gamma di pompe turbomolecolari STP Maglev stabilisce un nuovo standard. Il rotore è completamente sospeso mediante cuscinetti magnetici, perfetti per le applicazioni che richiedono tempi di attività elevati, pompaggio senza idrocarburi, manutenzione minima e vibrazioni ridotte.
Serie avanzata ad alta produttività
La serie avanzata offre elevati livelli di produttività, perfetti per i tuoi processi di incisione di semiconduttori e CVD:
- Ingombro ridotto
- Velocità da 300 l/s a 4.500 l/s
- Produttività fino a 6 slm e aumento delle prestazioni H2, N2 e Ar
- Controller e alimentazione completamente integrati
- Vuoto ultra elevato
- Serie ultra alto vuoto a basse vibrazioni
Controller e alimentazione completamente integrati
Questa soluzione di pompa turbo completa elimina il cavo di collegamento e il rack convenzionalmente richiesto:
- riduzione dell'ingombro, risparmio di costosi immobili di produzione, di tempo e costi di installazione
- L'alimentazione integrata riduce il consumo di energia fino al 32% ad alti flussi di gas
- Funzionamento con velocità da 300 l/s a 4.500 l/s
Vuoto ultra elevato
La serie ultra alto vuoto offre affidabilità, prestazioni, pulizia e livelli di vibrazione minimi ineguagliabili:
- l'alimentazione CC elimina la necessità di batterie
- il controller a mezzo rack è dotato di messa a punto automatica e di funzioni diagnostiche avanzate
- velocità da 300 l/s a 1.000 l/s e flangia CF a pressione massima <10-10 mbar
- è disponibile anche la versione "C" per processi pesanti
Serie ultra alto vuoto a basse vibrazioni
La versione ultra alto vuoto a basse vibrazioni incorpora tutte le caratteristiche della serie ultra alto vuoto più un isolante antivibrazioni integrato per offrire prestazioni di vibrazione ultra-basse.
Questa soluzione di pompa turbo completa elimina il cavo di collegamento e il rack convenzionalmente richiesto:
- riduzione dell'ingombro, risparmio di costosi immobili di produzione, di tempo e costi di installazione
- L'alimentazione integrata riduce il consumo di energia fino al 32% ad alti flussi di gas
- Funzionamento con velocità da 300 l/s a 4.500 l/s
La serie ultra alto vuoto offre affidabilità, prestazioni, pulizia e livelli di vibrazione minimi ineguagliabili:
- l'alimentazione CC elimina la necessità di batterie
- il controller a mezzo rack è dotato di messa a punto automatica e di funzioni diagnostiche avanzate
- velocità da 300 l/s a 1.000 l/s e flangia CF a pressione massima <10-10 mbar
- è disponibile anche la versione "C" per processi pesanti
La versione ultra alto vuoto a basse vibrazioni incorpora tutte le caratteristiche della serie ultra alto vuoto più un isolante antivibrazioni integrato per offrire prestazioni di vibrazione ultra-basse.
- Edwards STP iXA4506 Large Capacity Turbopump Datasheet 245.8 kB, PDF
