Robinets-vannes pour le vide

Robinets-vannes VAT pour une étanchéité globale élevée

Pourquoi choisir un robinet-vanne ?

Les robinets-vannes sont dotés d'un mécanisme d'étanchéité en coin simple mais innovant, sans graisse, en acier inoxydable et de conception robuste.

Ces vannes sont particulièrement bien adaptées aux applications présentant des niveaux élevés de sous-produit de procédé dans le flux de gaz. Elles offrent une longue durée de vie et sont fiables dans les environnements difficiles.

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Robinet-vannes CF

Robinet-vannes ISO-K ISO-F

Robinet-vannes ISO-KF

Robinets-vannes manuels BGV

Les robinets-vannes BGV sont des robinets-vannes en acier inoxydable à soufflets étanches destinés aux applications nécessitant une étanchéité élevée et un minimum d'hydrocarbures dans le système de vide. Bien qu'ils soient principalement conçus pour l'isolation des pompes dans les usines de fabrication de semi-conducteurs, les robinets-vannes BGV sont également tout à fait adaptés à d'autres applications dans lesquelles un différentiel de 1 bar est souhaitable à l'ouverture.

Les robinets-vannes BGV sont conçus pour être utilisés dans une plage de pression allant de 1,2 bar absolu à 1 x 10^-8 mbar (1,2 x 105 à 1 x 10^-6 Pa). Ils résistent à 1,2 bar absolu dans les deux sens, ce qui permet de purger la conduite de vide au-dessus de la pompe lorsque la vanne est fermée. Les robinets-vannes manuels BGV sont dotés d'un indicateur visuel de la position du robinet sur le côté de l'ensemble pour vérifier s'il est ouvert.

Capables de résister à 1,2 bar absolu dans les deux sens. Evitent les problèmes de redémarrage en maintenant la pompe en marche pendant la maintenance.
Construction en acier inoxydable et conception robuste.
- Longue durée de vie et fiabilité dans les environnements difficiles
Electrovanne pneumatique et option précâblée.
- Installation « plug and play » simple et préconfigurée.
Mécanisme d'étanchéité simple et sans graisse. Limite les dommages dus aux particules dans les procédés poussiéreux.

Robinet-vanne manuel BGV

Robinet-vanne pneumatique BGV MK3

Robinets-vannes pneumatiques BGV MK3

Le robinet-vanne pneumatique BGV Mk3 fonctionne de la même manière que le robinet-vanne manuel, mais le robinet-vanne pneumatique est équipé d'interrupteurs Reed qui peuvent être utilisés par votre équipement de contrôle pour déterminer si le robinet-vanne est ouvert ou fermé. Ces interrupteurs contiennent également des LED qui permettent de visualiser la position du robinet-vanne.

Chaque robinet-vanne pneumatique BGV Mk3 est équipé d'une électrovanne de 24 VCC et d'une fiche précâblée pour assurer une connexion directe à votre pompe à vide Edwards de dernière génération (iHH, iXL, iXM et GXS). Cette prise D-sub à 15 voies offre un point de connexion unique pour l'alimentation de l'électrovanne et l'activation des LED des indicateurs de position des interrupteurs Reed. Le câble de la prise « D » à 15 voies et les indicateurs de position des interrupteurs Reed sont disponibles en option avec les robinets-vannes BGV. Cependant, le câble mesure environ 50 cm de long et une rallonge est nécessaire pour se connecter à une pompe ou à un contrôleur local.    

Pour connecter le robinet-vanne pneumatique BGV Mk3 aux produits Edwards existants, il faut utiliser le câble d'interface BGV Mk2 TIM. La fonctionnalité LED n'est pas disponible sur les produits existants (iGX, GX ou iQ et iH via le module iTIM) car les pompes ne fournissent pas l'alimentation 24 VCC nécessaire à l'activation des LED. Cependant, la fonction de base de l'indicateur de positionnement de la vanne fonctionne pour l'ouverture et la fermeture car aucune alimentation n'est nécessaire ; elle est déclenchée par le champ magnétique.

Capables de résister à 1,2 bar absolu dans les deux sens. Evitent les problèmes de redémarrage en maintenant la pompe en marche pendant la maintenance.
Construction en acier inoxydable et conception robuste. Longue durée de vie et fiabilité dans les environnements difficiles.
Electrovanne pneumatique et option précâblée.
Installation « plug and play » simple et préconfigurée.
Mécanisme d'étanchéité simple et sans graisse. Limite les dommages dus aux particules dans les procédés poussiéreux.
Des versions à verrouillage/étiquetage (LOTO) sont également disponibles.

Comment fonctionnent les robinets-vannes BGV manuels et pneumatiques ?

Le mécanisme d'étanchéité en coin simple mais innovant, intégrant des patins PEEK, rend ce robinet-vanne particulièrement bien adapté aux applications présentant des niveaux élevés de sous-produit de procédé dans le flux de gaz :

Pas d'huile, de graisse ni de pièces mobiles complexes dans la vanne, ce qui élimine le risque d'endommagement du mécanisme dû à la contamination par des débris de procédé
Les patins PEEK assurent l'absence de contact métal contre métal et contrôlent la compression du joint torique
Lorsque le robinet-vanne se ferme, le joint torique passe brièvement sur la surface d'étanchéité avant d'assurer l'étanchéité, ce qui permet de nettoyer les débris de la surface d'étanchéité et d'obtenir ainsi une meilleure étanchéité

Robinet-vanne BGV en acier inoxydable avec dispositif de sécurité LOTO

Les robinets-vannes pneumatiques BGV LOTO présentent tous les avantages de la gamme BGV standard, avec en sus un dispositif de sécurité LOTO et une faible puissance. 

Les robinets-vannes BGV LOTO sont des robinets-vannes en acier inoxydable à soufflets étanches destinés aux applications nécessitant une étanchéité élevée et un minimum d'hydrocarbures dans le système de vide. Bien qu'ils soient principalement conçus pour l'isolation des pompes dans le sous-sol des usines de fabrication de semi-conducteurs, les robinets-vannes BGV sont également tout à fait adaptés à d'autres applications dans lesquelles un différentiel de 1 bar est souhaitable à l'ouverture.

Le mécanisme de sécurité de verrouillage/étiquetage (LOTO) unique permet au personnel de travailler librement sur le système de vide sans craindre une ouverture accidentelle de la vanne. La vanne est physiquement maintenue fermée à l'aide d'une goupille qui la verrouille et l'empêche de s'ouvrir. S'il est nécessaire de verrouiller la vanne, un moraillon de verrouillage peut être inséré dans la goupille LOTO et cadenassé.      

Les robinets-vannes BGV sont conçus pour être utilisés dans une plage de pression allant de 1,2 bar absolu à 1 x 10^-9 mbar (1,2 x 105 à 1 x 10^-7 Pa). Ils résistent à 1,2 bar absolu dans les deux sens, ce qui permet de purger la conduite de vide au-dessus de la pompe lorsque la vanne est fermée.

La faible puissance d'actionnement requise (1 W seulement) permet une connexion directe à la gamme de pompes sèches Edwards de dernière génération sans alimentation externe supplémentaire et favorise une installation simple de type « plug and play ».

Les interrupteurs Reed peuvent être utilisés par votre équipement de contrôle pour déterminer si le robinet-vanne est ouvert ou fermé. Ces interrupteurs contiennent également des LED qui permettent de visualiser la position du robinet-vanne. Chaque robinet-vanne est équipé d'une électrovanne de 24 VCC et d'une fiche précâblée pour assurer une connexion directe à votre pompe à vide Edwards de dernière génération. Cette prise « D » à 15 voies offre un point de connexion unique pour l'alimentation de l'électrovanne et le signal des indicateurs de position des interrupteurs Reed. Le câble de la prise « D » à 15 voies et les indicateurs de position des interrupteurs Reed sont disponibles en option avec les robinets-vannes BGV. Cependant, le câble mesure environ 50 cm de long et une rallonge est nécessaire pour se connecter à une pompe ou à un contrôleur local.   

Pour connecter le robinet-vanne pneumatique BGV LOTO aux produits Edwards existants, il faut utiliser le câble d'interface BGV TIM. La fonctionnalité LED n'est pas disponible sur les produits existants car les pompes ne fournissent pas l'alimentation 24 VCC nécessaire à l'activation des LED.

Dispositif de sécurité BGV LOTO en acier inoxydable

Comment fonctionnent les robinets-vannes BGV en acier inoxydable avec dispositif de sécurité LOTO ?

Pas d'huile, de graisse ni de pièces mobiles complexes dans la vanne, ce qui élimine le risque d'endommagement du mécanisme dû à la contamination par des débris de procédé 
Les patins PEEK assurent l'absence de contact métal contre métal et contrôlent la compression du joint torique 
Lorsque le robinet-vanne se ferme, le joint torique passe brièvement sur la surface d'étanchéité avant d'assurer l'étanchéité, ce qui permet de nettoyer les débris de la surface d'étanchéité et d'obtenir ainsi une meilleure étanchéité 
Les robinets-vannes LOTO peuvent être fermés et verrouillés en toute sécurité afin de fournir un environnement de travail sûr pendant la maintenance 
La faible puissance d'actionnement requise (1 W seulement) permet une connexion directe à la gamme de pompes sèches Edwards de dernière génération 
Capables de résister à 1,2 bar absolu dans les deux sens. Permettent à la pompe de continuer à fonctionner pendant la maintenance 
Electrovanne pneumatique et option précâblée. Installation « plug and play » simple et préconfigurée 
Construction en acier inoxydable et conception robuste. Longue durée de vie et fiabilité dans les environnements difficiles 
Mécanisme d'étanchéité simple et sans graisse. Limite les dommages dus aux particules dans les procédés poussiéreux

Pendant l'utilisation de robinets-vannes pneumatiques BGV LOTO

Le robinet-vanne pneumatique BGV LOTO peut être branché directement sur nos pompes à vide sèches de dernière génération, ce qui leur confère une fonctionnalité totale. Les produits de dernière génération comprennent les pompes iXH, iXL, iXM et GXS.  

Pour connecter le robinet-vanne pneumatique BGV LOTO à nos produits existants, il faut utiliser le câble d'interface BGV Mk2 TIM. Les produits existants comprennent les pompes iGX, GX (ou iQ et iH via le module iTIM).

Robinets-vannes HVA pour l'ultra-vide et les températures d'étuvage élevées

GV1040M

Robinets-vannes manuels et pneumatiques GV

La gamme GV de robinets-vannes en acier inoxydable à soufflets étanches est destinée aux applications nécessitant une étanchéité globale et un minimum d'hydrocarbures dans l'atmosphère résiduelle.

Ces robinets-vannes de qualité supérieure offrent une grande intégrité du vide associée à une conductance maximale. Les robinets-vannes sont disponibles avec des options de brides ISO et CF (en métal scellé) pour les applications à ultra-vide nécessitant des températures d'étuvage plus élevées.

Les corps des robinets-vannes en acier inoxydable sont brasés sous vide ; il s'agit d'un procédé spécial qui comprend un étuvage à 1100 ˚C. Cela élimine tout risque de fuites virtuelles et garantit un produit doté de caractéristiques de faible dégazage.

Un soufflet en acier inoxydable soudé au laser assure l'étanchéité entre l'actionneur et la vanne. Ce concept facilite l'entretien et permet de démonter le robinet et le mécanisme de liaison tout en laissant la vanne en place.

Dépose in situ du mécanisme du robinet et du mécanisme de liaison pour faciliter l'entretien.
Elimination des fuites virtuelles grâce à la fabrication par brasage sous vide.
Finition électropolie à l'intérieur et à l'extérieur.
Conception compacte avec conductance élevée.
Options manuelles ou pneumatiques.
Indicateur de position de microinterrupteur de série sur la version pneumatique, adapté aux champs magnétiques.
Longues périodes d'utilisation entre les opérations de maintenance.
Faibles vibrations et chocs.
Libre choix de l'orientation.
Large gamme d'alésages de 40 mm/1,56 pouce à 320 mm/12,48 pouces.
Options de brides - ISO et CF (en métal scellé)
Brasage sous vide à 1100 ˚C pour éliminer les fuites virtuelles.