Edwards Proteus
Edwards Proteus permite el tratamiento eficaz de PFC y otros gases causantes del calentamiento global sin el uso de gas natural ni otros hidrocarburos.
Proteus es una solución rentable, fácil de usar y de bajo consumo de energía que reduce la huella de carbono en la fabricación de semiconductores.
- Tecnología de plasma de bajo consumo de energía y alta eficiencia
- Modulación de potencia de plasma
- Bajas emisiones de NOx
- MTBS largo
- Protección del tiempo de funcionamiento con Proteus Dual
- Una tecnología de plasma única, de bajo consumo de energía, que logra una alta eficiencia en la destrucción (DRE, por sus siglas en inglés) de los gases PFC, como el CF4 y otros gases causantes del calentamiento global, como SF6, NF3 y N2O. Esto hace de Proteus una de las soluciones más rentables para la reducción de los gases causantes del calentamiento global en los procesos de fabricación de semiconductores.
- La energía operativa del plasma Proteus es totalmente ajustable en función de la carga de gas entrante, lo que permite a los usuarios minimizar el consumo de energía y, a la vez, mantener una óptima eficacia en el tratamiento. La interconexión con la herramienta del proceso y la modulación automática de la potencia del plasma ofrece más oportunidades para reducir los costos de funcionamiento sin perder el más alto rendimiento medioambiental.
- La reducción de gases PFC requiere altas temperaturas que promueven la formación de gases de NOx. La tecnología de plasma Proteus se desarrolló para minimizar las emisiones de “NOx térmico” y ahora es uno de los principales sistemas de reducción de PFC de “bajo NOx”.
- La destrucción de moléculas de PFC tiende a aumentar la carga ácida mediante la creación de compuestos solubles en agua tóxicos y corrosivos. Las etapas de depuración por vía húmeda o por antorcha del plasma Proteus se diseñaron específicamente para minimizar la corrosión de los componentes. Junto con una excelente capacidad de manejo del polvo, Proteus es capaz de lograr un tiempo prolongado entre mantenimientos, a la vez que mantiene un entorno de trabajo seguro en la fábrica.
- Proteus Dual ofrece una solución “de respaldo” completamente integrada para ayudar a asegurar la disponibilidad del sistema de reducción sin necesidad de tuberías o interconexiones complicadas. Proteus Dual es una solución rentable y fácil de instalar. Ayuda a mantener el tiempo de actividad del proceso, reduce el espacio físico y los costos de instalación y, además, mejora la seguridad del sub-fab.
Hable con nosotros acerca de cómo Proteus puede ayudarlo a cumplir sus objetivos medioambientales.
