Trockenlaufende Pumpen für die Halbleiterindustrie

Der globale Maßstab für Innovationen bei Vakuum

Umweltfreundlicher und zuverlässiger mit geringeren Betriebskosten

Die trockenlaufenden Pumpen der iXM-Baureihe mit geringem Energieverbrauch können echte Prozessverbesserungen bei Ihren wichtigsten Anwendungen bringen: Sie glänzen mit erhöhter Betriebszeit, verringerten Umweltauswirkungen und Kostenvorteilen.

  • Der energieeffiziente Wälzkolbenmechanismus kann den benötigten Eingangsstrom um bis zu 60 % reduzieren, dadurch verringern sich Umweltbelastung und Betriebskosten erheblich.
  • Die Gasbarrieretechnologie und die Verbesserung des thermischen Designs ermöglichen eine viermal höhere Korrosionsbeständigkeit als bei unserer vorherigen Serie.
  • Die fortschrittlichen Pulverhandlingsfunktionen bieten maximale Zuverlässigkeit und eine verlängerte Lebensdauer der Pumpe bei mehrschichtigen Ätzprozessen und reduzierten Stromverbrauch bei CVD-Prozessen.
  • Die kompakte und leichte Bauweise, kombiniert mit außergewöhnlich geringem Geräusch- und Vibrationspegel, bietet Ihnen mehr Vielseitigkeit.
  • Erhältlich mit Xcede-Technologie für verbesserte Korrosionsbeständigkeit.

Die iXH-Baureihe trockenlaufender Pumpen setzt neue Maßstäbe im Hinblick auf die Prozessfähigkeit in rauen Betriebsumgebungen, Zuverlässigkeit und Senkung der Betriebskosten.

  • Ein großer Temperaturbereich ermöglicht es Ihnen, die Pumpe im Hinblick auf eine minimale Ansammlung von Nebenprodukten aus Kondensation und Beschichtung zu optimieren.
  • Die trockenlaufenden Pumpen der Baureihe iXH Mk2 bieten eine noch längere Lebensdauer bei härtesten Produktionsverfahren und können die Energieeffizienz deutlich verbessern.
  • Innovative Pumpendichtungstechnologie kann die Prozesslebensdauer verlängern und die Leckagerisiken vermindern.
  • Erhältlich mit Xcede-Technologie für verbesserte Korrosionsbeständigkeit.

Bei der iXL-Reihe handelt es sich um eine Baureihe von energiesparenden kompakten trockenlaufenden Pumpen für leichte Anwendungen wie Wafer-Handling, PVD und Messtechnik.

  • Schnelle Kammerentleerung und extrem geringer Stromverbrauch 
  • Die trockenlaufenden Pumpen iXL600(N) und iXL1000(N) gehören zu den kleinsten und leisesten Pumpen für leichte Anwendungen. 
  • Die Varianten iXL600M und iXL1000M sind prozessgehärtet und speziell für dielektrische (Oxid-)Ätzung und ähnliche Anwendungen konzipiert. 
  • Die trockenlaufenden Pumpen iXL600(N) und iXL1000(N) zeichnen sich durch hohes Saugvermögen und niedrigen Stromverbrauch aus.
  • Die iXL900R ist die schnellste Loadlockpumpe, die derzeit in ihrer Klasse für FPD-Loadlock-Anwendungen erhältlich ist. Mit dieser neuen Pumpe, die sich besonders gut für die größten Schleusenkammern zur plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung (PVD) eignet, können Kunden ihre Betriebskosten und Installationszeiten deutlich reduzieren. Darüber hinaus benötigen die Kunden weniger Pumpen pro Schleusenkammer, was Installationszeit, Systemisierungskosten, Wartung und Ressourcenverbrauch reduziert.
  • Mit dem Ökomodus lassen sich der Ressourcenverbrauch im Leerlauf und die Kosten senken, was die Umweltleistung verbessert