Befestigungsteile und Anschlüsse für Vakuumsysteme

Entscheidend für die Leistung

Qualität, die Sie von Edwards erwarten

Wenn Sie Vakuumpumpen-Komponenten von Edwards beziehen, können Sie die Qualität und den Service erwarten, den nur ein international führender Anbieter bieten kann. 

Wir wissen, dass Flanschbauteile wesentlich für die Leistung von Vakuumsystemen sind. Daher erfüllen alle unsere hochwertigen Produkte die höchsten Qualitätsanforderungen.

Warum Vakuumkomponenten und Flanschanschlüsse von Edwards?

Komfortabel alles aus einer Hand; wir können eine vollständige Systemlösung anbieten – online oder über lokale Versorgungszentren.
Hochwertig und zuverlässig: Präzise Werkstoffkontrolle gewährleistet zuverlässige Vakuumleistung für empfindliche oder anspruchsvolle Anwendungen.
Umfassendes Angebot: komplettes Spektrum für alle gängigen Flanschgrößen in Aluminium und Edelstahl.

Vakuumkomponenten und Anschlüsse auf einen Blick

NW-Flanschverbindung (ISO-KF)

NW-Anschlüsse, auch bekannt als ISO-KF, sind der Industriestandard für viele Anwendungen im Nieder- bis Hochvakuumbereich. Sie liefern eine zuverlässige, kostengünstige Leistung bis 10^-7 mbar in einer Vielzahl von Anwendungen mit geringen bis hohen Anforderungen. Dank der einfachen Befestigungsmethode können die Systeme einfach montiert werden und erreichen schnell eine leckdichte Vakuumdichtung.

Gefertigt nach ISO 2861 und DIN 28403
Nenndurchmesser 10 mm bis 50 mm
Elastomer- oder geformte Aluminiumdichtungen
Klemmentyp je nach Anwendung, Zugang, Komfort und Kosten wählbar
Für den Einsatz in Hochvakuumanwendungen; Druck >10^-8 mbar

ISO-Flanschverbindung

ISO-Anschlüsse überzeugen mit hoher Korrosionsbeständigkeit bei der Halbleiterverarbeitung und ausgezeichneter Wiederholbarkeit über das gesamte Spektrum von Nieder- bis Hochvakuumanwendungen. Die Flansche werden mit Pratzen oder Schrauben mit einem Zentrierring aus Fluorelastomer oder Nitril und O-Ring verbunden.

Gefertigt nach ISO 1609 und DIN 28404
Nenndurchmesser 40 mm bis 630 mm
ISO-F-Flansche mit festem Lochmuster
ISO-K-Flansche typisch mit Pratzenverbindung, Umbau bzw. Anschluss auf ISO-F mit drehbarem Bundflansch oder Halbpratzen
Für den Einsatz in Hochvakuumanwendungen; Druck >10^-8 mbar

Doppelpratzen greifen in eine runde Nut am Flansch und stellen eine einfache, aber sichere Flanschverbindung her. Die konventionelle Methode besteht aus Schraubenbohrungen und Muttern/Schrauben mit drehbarem oder festem Bundflansch.

Flanschverbindung UHV ConFlat®

CF-Anschlüsse stellen die leckdichte Verbindung mit einem einzigartigen Dichtungssystem her. Eine Kupferdichtung wird axial und radial zwischen zwei CF-Flansche gepresst, wobei die Schneidkanten eine Kaltverformung des Kupfers erzwingen. Diese Verformung wird durch die vertikale Flanschwand stark begrenzt, wobei hohe Drücke entstehen und Oberflächenfehler ausgefüllt werden. Dadurch entsteht eine extrem feste Metall-zu-Metall-Abdichtung.

Gefertigt nach ISO 3669
Nenndurchmesser 16 mm bis 350 mm
Verwendung fast ausschließlich mit Kupferdichtringen
Auf bis zu 450 °C erwärmbar
Verwendung typisch in UHV-Systemen: Druck <10^-8 mbar

Metrische Flansche, wie sie in Europa und Asien üblich sind, haben metrische Gewindebohrungen und Flanschbohrungen für metrische Verrohrung. Zöllige Flansche werden häufiger in den USA verwendet und haben UNF-Flanschgewinde und Flanschbohrungen für zöllige Verrohrung. Wir bieten beide Optionen an.

Die richtige Materialauswahl für Ihre Anwendung je nach Ausgasung, Betriebstemperatur und Dichtheitsanforderungen ist entscheidend.

Co-seal-Dichtungen halten den Träger vom Vakuum fern und haben den zusätzlichen Vorteil, dass Spalten und Volumeneinschlüsse, die zu Instabilität und Gasausstoß führen können, vermieden werden.

Die Zentrierringe sind nur für Vakuumanwendungen ausgelegt. Wenn Überdruck zu erwarten ist (z. B. bei Auspuffleitungen), sollten Co-Seal-Dichtungen und Zentrierringe mit Außenring verwendet werden. Deren Träger stützen den O-Ring auf beiden Seiten und eignen sich daher ideal für Vakuum- und Überdruckanwendungen.

Klemmen und Klemmringe

Klemmringe aus Edelstahl
Polymerklemme
Aluminiumklemme
Spannkette
"C"-Bügel
Pratzen und Schrauben

Dichtungen

Co-Seal-Dichtung (Aluminium)
Co-Seal-Dichtung (Hightech-Polymer)
Zentrierring mit O-Ring (Aluminium)
Zentrierring mit O-Ring (Hightech-Polymer)
Zentrierringe mit Außenring
Metalldichtungen

Rohrleitungskomponenten

Aluminiumkomponenten
Edelstahlkomponenten

Bälge und flexible Rohrleitungen

Bälge
Flexible Rohrleitungen und flexible Geflechtleitungen

Unsere Komponenten und Flanschanschlüsse sind für Dichtheit bei allen Vakuumanwendungen ausgelegt, aber nicht auf umfangreiche Traglasten.

Bei der Auslegung eines Vakuumsystems müssen die statischen und dynamischen Belastungen berücksichtigt werden, die auf die einzelnen Verbindungen wirken. Bei Bedarf sollte zusätzlich eine mechanische Stütze in die Konstruktion integriert werden.

Um die Effizienz und Sicherheit des Systems zu gewährleisten, müssen regelmäßige Inspektionen mit Leckprüfungen und ggf. ein regelmäßiger Teileaustausch in Betracht gezogen werden.

Weitere Informationen zur sicheren Installation Ihrer Vakuumpumpe und Geräte erhalten Sie von uns.