Edwards CTI-Cryogenics 8200 Compressor Data sheet
Edwards CTI-Cryogenics kompresör serisi
Edwards CTI-Cryogenics, Yerleşik Kriyopompalar, Cryo-Torr Kriyopompalar ve/veya Yerleşik Su Pompaları ile optimum performans sağlamak üzere tasarlanmış çeşitli kompresörler sunar.
Entegre bir kriyopompa güç frekans dönüştürücüsü, tüm Edwards vakum pompaları için hem 50 hem de 60 Hz uygulamalarda maksimum kriyopompa performansı sağlar.
8200 Kompresör
On-Board Cryopumps, On-Board Waterpumps ve Cryo-Torr Cryopumps ile optimum performans sağlayacak şekilde tasarlanan bu kompresör, sekiz inç boyuta kadar tüm pompaları destekler. 8200 esneklik sağlayacak şekilde tasarlandığından, kompresörü sistem operasyonunuz için en uygun yere yerleştirebilirsiniz.
9600 Kompresör
Uzun kullanım ömrü, yüksek güvenilirlik ve kullanım kolaylığı için özel olarak tasarlanan bu kompresör, tüm Cryo-Torr Kriyopompaları, On-Board Kriyopompaları, On-Board Su Pompaları ve On-Board TurboPlus Vakum Pompaları ile olağanüstü performans sağlar. 9600 hem tekli hem de gruplanmış pompa yapılandırmalarını destekler ve dünya çapındaki CTI-Cryogenics pompalama kurulumlarıyla uyumludur.
9700A Kompresör
Artan helyum çıkışı ile 9700A Kompresör, birden fazla kriyo pompanın çalıştırılması için idealdir. Birçok çoklu kriyopompa ve su pompası uygulamasında, bir 9700A Kompresör tek bir kompresör çözümü sağlar. Birden fazla kompresör uygulamasına kıyasla güç tüketimini, su dağıtımını ve ayak izini azaltan 9700A Kompresör, Cryo-Torr ve On-Board Kriyopompalarla uyumludur.
IS Kompresör
IS-1000 Kompresör - Yerleşik IS Kriyopompalar için akıllı, yüksek verimli kompresör teknolojisi. IS-1000 Kompresör, 9600 Kompresör ile aynı alanda altı adete kadar Yerleşik IS-8F Kriyopompayı destekler.
IS-2000V Kompresör - daha yüksek basınç, döner teknoloji ve SEMI S-23 hedefleriyle uyumlu uyarlanabilir helyum dağıtımı kombinasyonu sayesinde tüm çalışma aşamalarında en düşük güç kullanımını sağlar. IS-2000V, iki Yerleşik IS-1000 kompresörün yerini alır. Bu yüksek kapasiteli helyum kompresörü, Yerleşik IS Kriyopompa uygulamalarını desteklemek için tasarlanmıştır. Entegre bir kriyopompa güç frekans dönüştürücüsü, hem 50 hem de 60 Hz uygulamalarda maksimum kriyopompa performansı sağlar.
