Opakovaně použitelná vložka hořáku Liner Pro snižuje neplánované doby odstávky

V rychle se rozvíjejícím světě výroby polovodičů je nezbytné udržovat bezpečný, efektivní a ekologicky odpovědný provoz. Systémy pro odstraňování výfukových plynů jsou zásadní pro podporu těchto cílů. Neutralizují nebezpečné plyny vznikající při procesech, jako je PECVD a nanášení tenkých vrstev, pomocí spalovacích komor s vnitřním spalováním. Vzhledem k tomu, že výrobní závody usilují o vyšší kapacitu v rámci omezených rozpočtů, stávají se tradiční komponenty odtahu spalin – zejména vložky hořáků – nákladným a neudržitelným problémem. Proto společnost Edwards vyvinula výstelku Liner Pro, která přináší zásadní změnu ve výkonu výstelky.

Bez účinného čištění představují toxické a životnímu prostředí škodlivé výfukové plyny vážná rizika pro bezpečnost zaměstnanců i dodržování předpisů v oblasti životního prostředí. Spolehlivost a účinnost těchto systémů však do značné míry závisí na jejich součástech, zejména na vložkách hořáků. Odolávají extrémním podmínkám, odolávají teplotám až 1 000 oC na vnitřní straně a 50 oC na vnější straně. Náročné a náročné procesy vyžadují jejich častou výměnu z důvodu křehkosti a ucpávání práškem. To vede ke zvýšení nákladů na údržbu, provozním dobám odstávky a rostoucím obavám ohledně odpadu a udržitelnosti.

V mnoha továrnách patří vložky hořáků k nejdražším náhradním dílům v jejich systémech odtahu spalin. Jejich vysoká míra spotřeby významně ovlivňuje celkové náklady na vlastnictví (TCO), zejména když jsou vložky vyměňovány během každého servisního intervalu, někdy dokonce dříve, než je to nutné, jen aby se zabránilo riziku neplánované doby odstávky.

Výzvy zahrnují:

• Žádná možnost přepracování: Jakmile je vložka použita nebo opotřebována, nelze ji přepracovat. Musí být zlikvidován a vyměněn.
• Komplexní řízení zásob: Často se provádí reaktivně, což vede k neefektivnosti a zvýšeným administrativním nákladům.
• Rizika dodavatelského řetězce: Ad hoc plánování může vést ke zpožděním a nedostatkům.
• Dopad na životní prostředí: Likvidace použitých vaků přispívá k materiálovému odpadu, což je v rozporu s cíli udržitelnosti.

S přísnějšími předpisy v oblasti životního prostředí a s tím, jak výrobci usilují o odpovědnější postupy, nabývá na naléhavosti potřeba cenově výhodného řešení pro opakované použití.

Provozuschopnost, bezpečnost a udržitelnost jsou v tomto odvětví na prvním místě. Modernizace na inovativní řešení, jako je Liner Pro, je více než jen technické vylepšení – je to strategická výhoda. Ať už hledáte snížení celkových nákladů na vlastnictví, zjednodušení plánování dovybavení hořáku nebo zajištění přístupu k originálním náhradním dílům, Liner Pro poskytuje měřitelnou hodnotu pro moderní továrny.