Liner Pro 再利用可能なバーナーライナーは、予期しないダウンタイムを削減します

半導体製造のペースの速い世界では、安全で効率的、かつ環境に配慮した運用を維持することが不可欠です。これらの目標を支える上で、除害システムは、重要な役割を果たします。PECVD や薄膜成膜などのプロセスで発生する有害ガスを内燃燃チャンバを用いて中和します。工場が限られた予算でスループットの向上を目指す中、従来の除害コンポーネント、特にバーナーライナーは、高コストで持続不可能なボトルネックとなっています。そこで、エドワーズはライナ性能を飛躍的に向上させる「Liner Pro」 を開発しました。

効果的な除害がなければ、有害で環境に悪影響を及ぼす廃ガスは、従業員の安全と環境規制遵守の両方に深刻なリスクをもたらします。しかし、これらのシステムの信頼性と効率性は、その構成部品、特にバーナーライナーに大きく依存しています。バーナーライナーは過酷な条件に耐え、内側では最大 1，000oC、外側では 50oC の温度にさらされます。過酷なプロセスでは、ライナーは脆弱性や粉体の堆積による詰まりのため、頻繁な交換が必要になります。これにより、メンテナンスコストの増加、稼働停止時間の長期化、そして廃棄物や持続可能性に関する懸念が高まります。

多くの工場では、バーナーライナーは除害システムの中で最も高価な交換部品の 1 つです。消費率が高いため、総所有コスト (TCoO) に大きな影響を与えます。特に、予期せぬダウンタイムを避けるために、まだ使用可能な状態でも、サービス間隔ごとにライナーを交換されることがあり、コスト増の要因となっています。

課題は以下の通りです：

• 再加工不可：一度使用または摩耗したライナーは再生できず、廃棄して交換するしかありません。
• 複雑な在庫管理：在庫管理はしばしば後手に回り、非効率や管理コスト増加を招きます。
• サプライチェーンのリスク：計画が場当たり的になることで、納期遅延や不足が発生します。
• 環境への影響：使用済みライナーの廃棄は、廃棄物問題を悪化させ、持続可能性の目標と矛盾します。

環境規制が厳しくなる中、製造業者はより責任ある運用を求めており、再利用可能でコスト効率の高いソリューションの必要性がますます高まっています。

稼働率、安全性、持続可能性が最優先される業界において、 Liner Pro のような革新的なソリューションへのアップグレードは、単なる技術改善ではなく、戦略的な優位性をもたらします。総所有コストの削減、バーナーの改造計画の簡素化、純正部品の確保を目指す場合でも、Liner Proは現代の工場に確かな価値を提供します。