Kryovývěvy On-Board® IS

Bezkonkurenční vakuový výkon a energetická účinnost

Kryovývěva IS značky Edwards CTI-Cryogenics využívá inovativní, vysoce účinnou technologii, která poskytuje bezkonkurenční vakuový výkon a energetickou účinnost.

Patentovaný distribuovaný řídicí systém sleduje a neustále upravuje jednotlivé prvky kryovývěvového systému, aby udržoval optimální vakuový výkon celého systému pro výjimečnou konzistenci procesu. Kryovývěvy On-Board IS zajišťují nejvyšší dobu provozuschopnosti, špičkovou produktivitu a nejnižší celkové provozní náklady ze všech kryovývěvových systémů, které jsou v současné době k dispozici, za přispění pohotově reagující globální servisní a podpůrné sítě společnosti Edwards.

Vlastnosti produktu

Patentovaný distribuovaný řídicí systém sleduje a neustále upravuje jednotlivé prvky systému kryovývěvy
Zachovává optimální vakuový výkon celého systému a zajišťuje výjimečnou konzistenci procesu
Nejrychlejší regenerace v konfiguracích s jednou a více vývěvami
Nízká spotřeba energie a chladicí vody bez kompromisů ve vakuovém výkonu
Snadná integrace systému
Rychlá instalace
Rozšířené dálkové monitorování pro preventivní i prediktivní údržbu

Kryovývěva IS 320FX
IS XP

Kryovývěva IS 320FX

Kryovývěva On-Board® IS 320FX, vyvinutá speciálně pro nejmodernější procesy Ion Implant, poskytuje vyšší rychlost a kapacitu čerpání vodíku při zachování kvality, výkonu a spolehlivosti, které očekáváte.

Speciálně navrženo pro aplikace Ion Implant
Optimalizováno pro výkon nástrojů
Chytrá „samoregulující“ technologie
Nižší provozní náklady
Delší doba provozuschopnosti

IS XP

Kryovývěva On-Board® IS XP poskytuje zvýšenou kapacitu pro aplikace PVD, čímž dosahuje maximální produktivity při zachování transparentnosti procesu. Zároveň nabízí prokázanou energetickou účinnost, konzistentní výkon a nízké provozní náklady, které od zařízení On-Board® IS očekáváte.