Palubní kryovývěvy IS

Inovativní kryogenní technologie zajišťující vysokou účinnost

Bezkonkurenční vakuový výkon a energetická účinnost

 Patentovaný distribuovaný řídicí systém sleduje a neustále upravuje jednotlivé prvky kryovývěvového systému, aby udržoval optimální vakuový výkon celého systému pro výjimečnou konzistenci procesu. Palubní kryovývěvy IS zajišťují nejvyšší dobu provozuschopnosti, špičkovou produktivitu a nejnižší celkové náklady na vlastnictví ze všech kryovývěvových systémů, které jsou v současné době k dispozici, za podpory pohotově reagující globální sítě služeb a podpory společnosti Edwards.

Vlastnosti produktu

  • Patentovaný distribuovaný řídicí systém sleduje a neustále upravuje jednotlivé prvky kryovývěvového systému
  • Zachovává optimální vakuový výkon celého systému a zajišťuje výjimečnou konzistenci procesu
  • Nejrychlejší regenerace v konfiguracích s jednou a více vývěvami
  • Nízká spotřeba energie a chladicí vody bez kompromisů ve vakuovém výkonu
  • Snadná integrace systému
  • Rychlá instalace
  • Rozšířené dálkové monitorování pro preventivní i prediktivní údržbu

Kryovývěva On-Board® IS 320FX, vyvinuté speciálně pro nejmodernější procesy Ion Implant, poskytuje vyšší rychlost a kapacitu čerpání vodíku při zachování kvality, výkonu a spolehlivosti, kterou očekáváte. 

  • Speciálně navrženo pro aplikace Ion Implant
  • Optimalizováno pro výkon nástrojů
  • Chytrá „samoregulující“ technologie
  • Nižší náklady na vlastnictví
  • Delší doba provozuschopnosti

 

Kryovývěva On-Board® IS XP poskytuje zvýšenou kapacitu pro aplikace PVD, čímž dosahuje maximální produktivity při zachování průhlednosti procesu. Zároveň nabízí prokázanou energetickou účinnost, konzistentní výkon a nízké náklady na vlastnictví, které od zařízení On-Board® IS očekáváte. 

  • Poskytuje režijní náklady na kapacitu pro budoucí zlepšení procesů
  • Nižší náklady na vlastnictví
  • Delší doba provozu
  • Chytrá „samoregulující“ technologie pro konzistentní vakuový výkon