Proteus

Nová srovnávací úroveň v oblasti snižování skleníkových plynů

Edwards Proteus

Systém Proteus je úsporným, uživatelsky přívětivým a nákladově efektivním řešením pro snížení uhlíkové stopy výroby polovodičů.

  • Vysoce účinná plazmová technologie s nízkou spotřebou energie
  • Plazmová modulace výkonu
  • Nízké emise NOx
  • Dlouhý stav MTBS
  • Ochrana doby provozuschopnosti pomocí systému Proteus Dual

  1. Jedinečná plazmová technologie s nízkou spotřebou, která dosahuje vysoké účinnosti při ničení plynů perfluorovaných uhlovodíků, jako je CF4 a další plyny způsobující globální oteplování, jako jsou SF6, NF3 a N2O. Díky tomu je systém Proteus jedním z nákladově nejefektivnějších řešení pro snižování emisí plynů způsobujících globálního oteplování z procesů výroby polovodičů.
  2. Provozní výkon plazmy systému Proteus je plně nastavitelný v závislosti na vstupním množství plynu, což uživatelům umožňuje minimalizovat spotřebu energie a přitom zachovat optimální účinnost ošetření. Propojení s procesním nástrojem a automatickou plazmovou modulací výkonu nabízí další příležitosti ke snížení provozních nákladů při zachování nejvyššího výkonu šetrného k životnímu prostředí.
  3. Snižování emisí perfluorovaných uhlovodíků vyžaduje vysoké teploty, které podporují tvorbu plynů oxidů dusíku. Plazmová technologie Proteus byla vyvinuta tak, aby minimalizovala emise „termických oxidů dusíku“, a nyní je jedním z předních systémů pro snižování emisí perfluorovaných plynů s nízkou produkcí oxidů dusíku.
  4. Destrukce molekul perfluorovaných plynů má tendenci zvyšovat množství kyseliny vytvářením toxických a žíravých ve vodě rozpustných sloučenin. Plazmový hořák Proteus a stupně mokrého odlučování byly speciálně navrženy tak, aby minimalizovaly korozi součástí. V kombinaci s vynikající schopností manipulace s práškem dokáže systém Proteus dosáhnout dlouhého stavu MTBS při zachování bezpečného pracovního prostředí ve výrobě.
  5. Systém Proteus Dual nabízí plně integrované „záložní“ řešení, které pomáhá zajistit dostupnost snižování emisí bez nutnosti komplikovaného potrubí a rozhraní. Systém Proteus Dual je cenově výhodné a snadno instalovatelné řešení. Pomáhá udržovat provozuschopnost procesu, snižovat nároky na prostor a náklady na instalaci a zároveň zvyšovat bezpečnost výroby.

    Pobavte se s námi o tom, jak vám může systém Proteus pomoci splnit vaše cíle v oblasti životního prostředí.