低振動,零維護
如果您需要穩定、可靠的效能,並且免維護,我們的 STP 磁浮式渦輪分子泵浦系列是符合您需求的最佳指標。轉子以磁性軸承完全懸浮,非常適合需要高運轉時間、無碳氫化合物的抽氣、最低程度維護及低振動的應用。
高級系列可提供高流速,非常適合您的半導體蝕刻和 CVD 製程:
這種多合一的渦輪泵浦解決方案免除了傳統所需的連接電纜和機架:
超高真空系列具有無與倫比的可靠姓、效能、清潔度和一流的低振動水準:
超高真空低振動版本結合了超高真空系列的所有功能,並採用內建的振動隔離器,可為您帶來超低振動效能。