STP 磁浮式渦輪分子真空泵浦 - Edwards Vacuum

腔體解決方案

低振動，零維護

如果您需要穩定、可靠的效能且零維護，我們的 STP 磁浮式渦輪分子真空泵浦系列就是標準配置。轉子完全由磁懸浮軸承懸浮 - 非常適合要求高正常運行時間、無烴抽氣、維護最少且振動低的應用。

高級高流通系列

高級系列可提供高流通水平，非常適合您的半導體蝕刻和 CVD 製程：

占地面積小
300 l/s 到 4500 l/s 的流通速度
流通速度高達 6 slm，並提高了 H₂、N₂ 和 Ar 效能。

完全整合型控制器和電源

這種多合一的渦捲式泵浦解決方案消除了常規所需的連接電纜和機架：

減少占地面積，節省寶貴的製造廠不動產、安裝時間和成本
機載電源可在高氣流條件下將能源消耗降低多達 32％
以 300 l/s 到 4500 l/s 的流通速度運轉

超高真空

超高真空系列具有無與倫比的可靠性、效能、清潔度和一流的低振動水平。

直流電源消除了對電池的需求
半機架控制器具有自動調諧功能和高級診斷功能
速度為 300 l/s 到 1000 l/s，極限壓力 <10^-10 mbar (CF 法蘭)
還提供適用於苛刻製程的「C」版

超高真空低振動系列

超高真空低振動版本結合了超高真空系列的所有功能，並採用內建的振動隔離器，可為您帶來超低振動效能。