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愛德華 STP 磁浮式渦輪分子真空泵浦

STP 磁浮式渦輪分子真空泵浦

低振動,零維護

腔體解決方案

如果您需要穩定、可靠的效能,並且免維護,我們的 STP 磁浮式渦輪分子泵浦系列是符合您需求的最佳指標。轉子以磁性軸承完全懸浮,非常適合需要高運轉時間、無碳氫化合物的抽氣、最低程度維護及低振動的應用。

進階高流速系列

進階系列可提供較高流速,非常適合您的半導體蝕刻和化學氣相沉積製程:

  • 占地面積小
  • 300 l/s 到 4,500 l/s 的流速
  • 流速高達 6 slm,並且能提高了氫氣 (H2)、氮氣 (N2) 和 氬氣 (Ar) 的抽氣效能

這種一體成形的渦輪泵浦減少了傳統型所需的連接電纜和機架:

  • 減少占地面積,節省寶貴的製造廠不動產、安裝時間和成本
  • 在高氣流條件下內置式電源控制器能降低能源損耗高達 32%
  • 以 300 l/s 到 4,500 l/s 的流速運轉

超高真空系列具有無與倫比的可靠姓、效能、清潔度和一流的低振動水準:

  • 直流電源消除了對電池的需求
  • 半機架控制器具有自動調諧功能和高級診斷功能
  • 速度為 300 l/s 到 1,000 l/s,極限壓力 <10-10 mbar (CF 法蘭)
  • 另有提供適用於嚴苛製程的「抗腐蝕性」版

超高真空低振動版本結合了超高真空系列的所有功能,並採用內建的振動隔離器,可為您帶來超低振動效能。