Your browser is not supported

You are using a browser we do not support any longer. To continue visiting our website, please choose one of the following supported browsers.

Анализаторы остаточного газа

Идеальный баланс высокой производительности и удобства обслуживания

Анализаторы остаточного газа (RGA) компании Edwards

RGA доступен в двух вариантах, которые обеспечивают простую работу, высокую производительность и эффективность.  

В случае необходимости вы можете получить мгновенную оценку состояния процесса, воспользовавшись уникальным встроенным дисплеем, способным отображать основные типы газа, а также общее давление в системе, не требуя подключения ноутбука.

Анализатор первичного газа PRA

Обеспечение идеального баланса высокой производительности и удобства обслуживания.

  • Доступно четыре модели, которые соответствуют потребностям вашего процесса, независимо от того, нужна вам базовая модель или что-то с большей чувствительностью/диапазоном.
  • PRA – это идеальная отправная точка для анализа ваших процессов.

Широкий выбор анализаторов остаточного газа WRA

Самые совершенные модели линейки с лучшими в своем классе характеристиками.

  • Анализатор выпускается в двух вариантах исполнения — на 1-200 или 1-300 а. е. м. — и позволяет контролировать различные газы и побочные продукты, образующиеся в ходе технологических процессов. 
  • Он также отличается повышенной чувствительностью по сравнению с моделями PRA, что позволяет повысить точность измерений.

Измерение полного давления

для полного контроля над процессом

Двойная нить накаливания

для максимальной надежности и времени безотказной работы

Дисплей устройства

для основных измерений без использования ПК

Компоненты, которые может заменить пользователь
Функция дегазации
Защита ионизатора и электронного умножителя
RGA выполняют анализ газов и их состава. Это необходимо для следующего:

  • Обнаружение и идентификация утечек
  • Обнаружение и идентификация загрязняющих веществ 
  • Проверка чистоты газа
  • Контроль качества продукции/процесса
  • Диагностика и управление технологическим процессом и оборудованием
  • Оптимизация производительности и результатов процесса

Идеальное решение для различных областей применения:

  • Полупроводниковые процессы
  • Тонкая пленка и дисплей
  • Вакуумная термообработка
  • Сублимационная сушка в вакууме
  • Научные исследования и разработка
  • Физика высоких энергий