Your browser is not supported

Вы используете браузер, который мы больше не поддерживаем. Чтобы продолжить навигацию по нашему веб-сайту, выберите один из следующих поддерживаемых браузеров.

Продукция, разработанная на заказ
Узнать больше
Диффузионные насосы
Узнать больше
Насосы с масляным уплотнением
Узнать больше
Механические бустерные насосы
Узнать больше
Промышленные безмасляные насосы
Узнать больше
Малые сухие насосы
Узнать больше
Турбомолекулярные насосы
Узнать больше
Измерение вакуума
Узнать больше
Обнаружение течей
Узнать больше
Анализаторы остаточного газа
Узнать больше
Химические сухие насосы
Узнать больше
Компоненты вакуумных систем
Узнать больше
Вакуумные насосы для создания сверхвысокого вакуума
Узнать больше
Водокольцевые насосы
Узнать больше
iTrap
Узнать больше
Турбомолекулярные насосные станции
Узнать больше
Криогенные чиллеры
Узнать больше
Криогенные насосы
Узнать больше
Сухие насосы для производства полупроводников
Узнать больше
Решения по охране окружающей среды - Очистка отработавших газов
Узнать больше
Интегрированные решения
Узнать больше
Криогенный насос On-board IS Edwards

Криогенные насосы On-Board® IS

Повышение эффективности благодаря применению инновационной криогенной технологии

Непревзойденные параметры вакуума и энергоэффективность

Запатентованная распределительная система управления осуществляет мониторинг и непрерывное регулирование отдельных компонентов криогенной насосной системы для поддержания оптимальных параметров вакуума в системе для исключительной стабильности процесса. Криогенные насосы On-Board IS обеспечивают максимальное время безотказной работы, лучшую производительность и самую низкую общую стоимость владения среди всех доступных на сегодняшний день систем криогенных насосов. Кроме того, для них доступна глобальная сеть оперативного обслуживания и поддержки Edwards.

 

Основные характеристики

  • Запатентованная распределительная система управления осуществляет мониторинг и непрерывное регулирование отдельных компонентов криогенной насосной системы
  • Оптимальная производительность всей вакуумной системы и исключительная непрерывность технологического процесса
  • Максимально быстрая регенерация в системах с одним и несколькими насосами
  • Низкое потребление энергии и охлаждающей воды без ухудшения параметров вакуума
  • Простая интеграция
  • Быстрый монтаж
  • Расширенные функции дистанционного мониторинга для профилактического и диагностического обслуживания
 

Криогенный насос On-Board® IS 320FX, разработанный специально для решения задач современных процессов ионной имплантации, обеспечивает повышенную скорость перекачивания водорода и мощность, сохраняя при этом качество, производительность и надежность, которые вы ожидаете. 

  • Разработан специально для процесса ионной имплантации
  • Оптимизация производительности инструмента
  • Интеллектуальная технология автоматической настройки
  • Низкая стоимость владения
  • Увеличенный срок эксплуатации

 

Криогенный насос On-Board® IS 320FX обеспечивает повышенную мощность для процессов PVD для достижения максимальной производительности при сохранении прозрачности процесса. В то же время он использует проверенную энергоэффективность, стабильную производительность и низкую стоимость владения, которые вы ожидаете от On-Board® IS. 

  • Эксплуатационный резерв для дальнейшего усовершенствования процесса
  • Низкая стоимость владения
  • Увеличенное время бесперебойной работы
  • Интеллектуальная технология автоматической настройки, обеспечивающая стабильность вакуума

 

Свяжитесь с нами, чтобы узнать больше

Перейдите по этой ссылке

Loading...