Преимущество криогенных насосных систем Edwards CTI-Cryogenics IS — использование инновационной высокоэффективной технологии, которая обеспечивает отличные параметры вакуума и оптимизирует потребление энергии.
Запатентованная распределительная система управления предназначена для мониторинга и непрерывного регулирования отдельных компонентов криогенной насосной системы для оптимизации параметров вакуума во всей системе, что обеспечивает исключительную непрерывность технологического процесса. Среди всех криогенных систем, представленных на рынке, криогенные насосы On-board IS отличаются максимальной продолжительностью безотказной работы, высокой производительностью и минимальной общей стоимостью владения. Оперативное техническое и сервисное обслуживание осуществляется через международную сеть представительств компании Brooks.
Криогенный насос On-Board® IS 320FX, разработанный специально для высокотехнологичных процессов ионной имплантации, обеспечивает более высокую производительность и скорость откачки водорода, обладая при этом такими же высокими показателями качества, эффективности и надежности, что и криогенные насосы On-Board® IS 320FE.
Криогенный насос On-Board® IS XP отличается более высокой эффективностью в процессах PVD, что позволяет достичь максимальной производительности, сохраняя контроль над процессом. Эти насосы также обладают всеми проверенными на практике преимуществами насосов серии On-Board® IS — оптимальным энергопотреблением, стабильной производительностью и низкой стоимостью владения.
