Ваш браузер не поддерживается

Вы используете браузер, который мы больше не поддерживаем. Чтобы продолжить навигацию по нашему веб-сайту, выберите один из следующих поддерживаемых браузеров.

Криогенный насос On-board IS Edwards

Криогенные насосы On-board IS

Повышение эффективности благодаря применению инновационной криогенной технологии

Непревзойденные параметры вакуума и энергоэффективность

Запатентованная распределительная система управления осуществляет мониторинг и непрерывное регулирование отдельных компонентов криогенной насосной системы для поддержания оптимальных параметров вакуума в системе для исключительной стабильности процесса. Криогенные насосы On-Board IS обеспечивают максимальное время безотказной работы, лучшую производительность и самую низкую общую стоимость владения среди всех доступных на сегодняшний день систем криогенных насосов. Кроме того, для них доступна глобальная сеть оперативного обслуживания и поддержки Edwards.

 

Основные характеристики

  • Запатентованная распределительная система управления осуществляет мониторинг и непрерывное регулирование отдельных компонентов криогенной насосной системы
  • Оптимальная производительность всей вакуумной системы и исключительная непрерывность технологического процесса
  • Максимально быстрая регенерация в системах с одним и несколькими насосами
  • Низкое потребление энергии и охлаждающей воды без ухудшения параметров вакуума
  • Простая интеграция
  • Быстрый монтаж
  • Расширенные функции дистанционного мониторинга для профилактического и диагностического обслуживания

Криогенный насос On-Board® IS 320FX, разработанный специально для решения задач современных процессов ионной имплантации, обеспечивает повышенную скорость перекачивания водорода и мощность, сохраняя при этом качество, производительность и надежность, которые вы ожидаете. 

  • Разработан специально для процесса ионной имплантации
  • Оптимизация производительности инструмента
  • Интеллектуальная технология автоматической настройки
  • Низкая стоимость владения
  • Увеличенный срок эксплуатации

 

Криогенный насос On-Board® IS 320FX обеспечивает повышенную мощность для процессов PVD для достижения максимальной производительности при сохранении прозрачности процесса. В то же время он использует проверенную энергоэффективность, стабильную производительность и низкую стоимость владения, которые вы ожидаете от On-Board® IS. 

  • Эксплуатационный резерв для дальнейшего усовершенствования процесса
  • Низкая стоимость владения
  • Увеличенное время бесперебойной работы
  • Интеллектуальная технология автоматической настройки, обеспечивающая стабильность вакуума