Криогенные насосы On-board IS

Повышение эффективности благодаря применению инновационной криогенной технологии

Непревзойденные параметры вакуума и энергоэффективность

 Запатентованная распределительная система управления предназначена для мониторинга и непрерывного регулирования отдельных компонентов криогенной насосной системы для оптимизации параметров вакуума во всей системе, что обеспечивает исключительную непрерывность технологического процесса. Среди всех криогенных систем, представленных на рынке, криогенные насосы On-board IS отличаются максимальной продолжительностью безотказной работы, высокой производительностью и минимальной общей стоимостью владения. Оперативное техническое и сервисное обслуживание осуществляется через международную сеть представительств компании Brooks.

Основные особенности

 
  • Запатентованная распределительная система управления для мониторинга и непрерывного регулирования отдельных компонентов криогенной насосной системы
  • Оптимальная производительность всей вакуумной системы и исключительная непрерывность технологического процесса
  • Максимально быстрая регенерация в системах с одним и несколькими насосами
  • Низкое потребление энергии и охлаждающей воды без ухудшения параметров вакуума
  • Простая интеграция
  • Быстрый монтаж
  • Расширенные функции дистанционного мониторинга в целях профилактического и диагностического обслуживания

Криогенный насос On-Board® IS 320FX, разработанный специально для высокотехнологичных процессов ионной имплантации, обеспечивает более высокую производительность и скорость откачки водорода, обладая при этом такими же высокими показателями качества, эффективности и надежности, что и криогенные насосы On-Board® IS 320FE. 

  • Специально разработан для процесса ионной имплантации
  • Оптимизирован для обеспечения максимальной производительности оборудования
  • Интеллектуальная технология автоматической настройки
  • Низкая стоимость владения
  • Увеличенное время бесперебойной работы

 

Криогенный насос On-Board® IS XP отличается более высокой эффективностью в процессах PVD, что позволяет достичь максимальной производительности, сохраняя контроль над процессом. Эти насосы также обладают всеми проверенными на практике преимуществами насосов серии On-Board® IS — оптимальным энергопотреблением, стабильной производительностью и низкой стоимостью владения. 

  • Эксплуатационный резерв для дальнейшего усовершенствования процесса
  • Низкая стоимость владения
  • Увеличенное время бесперебойной работы
  • Интеллектуальная технология автоматической настройки, обеспечивающая стабильность вакуума