Our Products

지속경영을 강화하는 업무 방식과 경영 방침으로 개선하며 지속성을 위한 노력합니다. 친환경 기술을 지향하며 제품의 주요 진공 단계에 대한 설계를 변경하였고, 효율적인 자원 활용은 제품 설계 및 개발뿐 아니라 소비 전력 및 용수 절감을 중심으로 고객의 총소유비용을 낮추는 데 집중하고 있습니다.

 

탄소 배출량을 절감한 차세대 제품

주요(Primary) 펌프

SEMATECH Energy Research 연구에 따르면 반도체 공정에서 사용되는 진공 펌프는 Fab에서 사용되는 전체 에너지의 1/3까지 차지하며 가장 에너비 소모가 많은 장비 중 하나입니다. 전 세계에 설치된 반도체 진공 펌프로 사용되는 에너지는 영국, 셰필드시(Sheffield, UK) 또는 미국 텍사스주 플래노시(Plano, US) 규모의 도시 전체에서 사용되는 에너지량과 같습니다.

Edwards는 제품의 신뢰성을 유지하는 동시에 에너지 및 유틸리티 절감 솔루션을 설계합니다. 플랫폼 설계 프로세스로 고객 니즈에 맞춘 저전력 진공 솔루션을 제공할 수 있도록 꾸준한 개발을 이어가고 있습니다. 예를 들어 Edwards 차세대 건식 펌프는 이전 세대 건식 진공 대비 30% 적은 에너지를 사용하며 또한 유틸리티 제어(Active Utility Control, AUC)를 도입하여 툴에서 신호를 받는 펌프 idle시 에너지와 유틸리티 소비를 더욱 절감할 수 있도록 합니다.

차세대 플랫폼 기술 혜택을 전체 펌프군에서 누릴 수 있습니다. 기존 세대 펌프를 가동 중인 고객들도 Edwards 차세대 기술로 효율을 높일 수 있도록 다양한 에너지 효율 업그레이드 프로그램을 제공합니다.

더불어 최적의 사용 환경을 구축하여 에너지 소모를 최소할 수 있도록 상담 서비스를 제공합니다.

 

보조(Secondary) 펌프

글로벌 에너지 절약은 지구 온난화 예방을 위한 중요합니다. Edwards는 생산 설비와 사무실에서 에너지를 절약하는 노력 외에도 차세대 터보 분자 펌프를 통해 에너지 절감을 실천하고 있습니다. 그리고 보다 효율적인 터보 분자 펌프 기술로 전환할 수 있도록 업그레이드 프로그램을 제공합니다.

예를 들어, 오일 diffusion 펌프에서 STP 터보 분자 펌프로 전환한다면 다양한 혜택을 받으실 수 있습니다.

  • 유틸리티 비용 감소 (Power and Water)
  • 연례 유지 보수 또는 불필요한 오일 교환
  • 펌핑 성능 향상
  • 매우 낮은 주변 소음과 진동
  • 필요한 설치 공간 감소

 

가스처리 장치 (Abatement)

반도체 제조 공정에서 사용되는 플루오르카본(fluorocarbon)과 육불화황(sulphurhexaflouride)과 같은 공정가스는 지속성과 높은 지구 온난화 지수(Global Warming Potential, GWP)로 인해 환경적으로 이슈가 되고 있습니다. 이와 같은 공정가스는 이산화탄소보다 GWP 수치가 1,000배 높은 물질입니다. 예를 들어, 100년 기준으로 CO2의 GWP를 1로 볼때, SF6의 GWP는 23,500, NF3는 16,100, 그리고 CF4는 6,630입니다. 즉, CO2의 GWP가 100년 간 1이라면 동일한 기간 동안 SF6의 GWP는 23,900이며 NF3의 GWP는 10,970이고 CF4는 6,500입니다.

Edwards는 1990년대 중반부터 연소 제거 기술을 이용하여 고객들이 유해물질들 제거 효율을 높이도록 지원하고 있습니다. 그리고 최근에는 플라스마 기술 솔루션을 도입하며 고객의 전체 Fab 공정의 CO2 발생량 목표량이 세계 반도체 협회(World Semiconductor Council)의 수치와 부합되도록 하여 90% 이상 감축할 수 있었습니다. 그리고 더 높은 가스 유량이 요구되는 평면 디스플레이, 태양광 패널, LED과 같이 친환경 기기 제조에 대응할 수 있도록 Spectra Z와 Spectra G 가스처리 시스템도 개발하였습니다.

Edwards의 Atlas 가스처리 시스템 제품은 이전 솔루션보다 최대 50% 적은 연료를 사용하며 진공 펌프와 Atlas 가스처리 기술 결합 그리고 'idle mode' 기술을 적용하여 더욱 개선된 에너지 효율성 업그레이드 솔루션을 제공합니다.