Enabling Environmental Technology

고체 조명(Solid State Lighting)

발광 다이오드(LED)와 같은 고체 조명(solid state lighting)은 기존 백열등이나 형광등보다 에너지 절약 등의 친환경적인 혜택을 누릴 수 있습니다. 기존 조명 시스템 대비 80%의 에너지 감소 효과를 얻을 수 있습니다. LED는 주의가 필요한 가스와 진공 환경에서 제조되는 반도체 장비입니다.

태양전지

태양광 광전지(PV) 셀은 빛으로 전기를 생산하는 반도체 장비입니다. 태양전지는 공기 오염, 유해 페기물, 소음 없는 청정 재생 에너지를 생산합니다. 규모의 경제 효과로 인해 공정 챔버 및 설비 규모도 함께 증가하는 추세가 이어지고 있습니다. 그러므로 Edwards에서는 자연훼손과 환경오염을 최소화하는 친환경 진공 및 가스처리 기술을 개발을 이끌어 나아가고 있습니다.

유리 코팅

진공 코팅 유리는 주로 건물에서 태양열로 발생하는 열에너지를 제어를 위해 사용됩니다. 이러한 유리는 외부 금속 산화물로 다중 레이어가 이루어져 적외선을 반사하는 요소를 형성하게 됩니다. 건물에 부하되는 열에너지를 감소시키면 더운 나라에서 에어컨 전력 소모를 줄일 수 있습니다. 반대로 추운 나라에서는 동일한 원리로 반사 요소를 형성하여 열을 보존할 수 있어 난방 연료 및 전력 사용량 감소에 도움이 됩니다. 진공 기술 솔루션을 업그레이드*하여 유리 코팅 공정에서 소비되는 에너지를 최대 95% 절감하며, 매년 발생되는 CO2를 22.6톤 감축하였습니다. (*diffusion 펌프에서 STP 터보 분자 펌프 업그레이드 기준)

철강 가스 제거 (Steel Degassing)

특수합금 제조에서 진공 가스 제거(Vacuum degassing, VD) 및 진공 산소 탄소 제거(vacuum oxygen decarburization, VOD)와 같은 공정을 거쳐야만 수소, 탄소, 등의 불순물을 제거하여 청정한 2차 합금을 가공할 수 있습니다.

기존 리퀴드 링 펌프를 장착한 멀티스테이지 증기 이젝터 시스템 대비, Edwards 건식 기계식(dry mechanical) 진공 펌프는 월등한 에너지 절약 솔루션입니다.