チャンバーソリューション

低振動およびゼロ保守

チャンバーソリューション上では

保守なしで一貫した信頼性の高いパフォーマンスを求める場合、当社の一連のターボ分子ポンプがその標準となります。ロータは磁気軸受けで完全に浮上しており、長時間の稼働、ハイドロカーボン不要、最小限の保守、低振動が必要な用途に最適です。

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