EXS Dry Screw Vacuum Pump Brochure
EXSドライスクリュー真空ポンプ
過酷な産業用途における粗引き速度の高速化と低い到達真空圧
EXSドライスクリュー真空ポンプとその組み合わせ
EXSは実績のあるGXSポンプの技術をベースに、業界をリードする当社の技術的優位性を発揮し、シンプルさと堅牢性を重視して開発されました。より高い性能、シンプルな操作性、低いメンテナンスコストにより、長年にわたり信頼性の高い性能を発揮します。EXSシリーズドライスクリュー真空ポンプには、EXS450、EXS750、EXS750/4200がラインナップされています。
堅牢設計の特長
滑らかな金属板の保護筐体を備えた、手動のガスバラスト制御を備えた信頼性の高い新ガスシステム。
シンプルな電気設計
実績のある内蔵の標準インバータによりシンプルな接続と通信を実現し、保護センサ搭載の電気設計で信頼性と安全性を実現します。
消費電力およびその他水道光熱費の低減
EXSは消費電力とその他水道光熱費を抑えて、二酸化炭素排出量を削減します。汚染されたオイルを廃棄しないため、環境にも配慮した製品です。
粗引き速度の高速化と低い到達真空圧
高速排気とポンプダウンタイムの短縮により、生産性を向上。ドライスクリュー真空ポンプでは最大<1 x 10-2、ポンプとブースターの組み合わせでは最大<1 x 10-3の低い到達圧力を実現します。
非接触型長寿命シール
オイルを遮断するラビリンスシールを備えた非接触型長寿命シールにより、極めて効果的なシーリングを実現します。
高度なコア技術
汎用性のある高品質ベアリングと低蒸気圧型専用オイル。
- アプリケーション
- 技術仕様
- ダウンロード
EXSポンプは、以下のような各種産業用途に最適です。
冶金
- 真空ろう付け
- 電子ビーム溶接
- 浸炭窒化
- 低圧窒化
- 低圧浸炭
- 炭素蒸気含浸
- 焼結
- 金属射出成形
- 精密インベストメント鋳造
- 真空アーク精錬
- 製鋼時のガス抜き
プラズマプロセス
- プラズマ溶接
- プラズマ窒化
チャンバ真空引き
- 宇宙シミュレーションチャンバ
- ガス回収/循環
- ロードロックチャンバ
LEDメーカー
太陽光
- シリコン結晶引き上げ
- PVラミネート
コーティング
- ロールウェブコーティング
- ハードコーティング（CVD/DLC）
- 表面活性化
- プラズマ溶射
- ガラスコーティング
仕様 |
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単位 |
値 |
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EXS450 |
EXS750 |
EXS750/4200 |
一般 |
到達真空圧 |
mbar（Torr） |
<1 x10-2（<8x10-3） |
<1 x10-3（<8x10-4） |
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最大排気速度 |
m3/hr（cfm） |
450（265） |
740（435） |
3450（2032） |
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最大出力 |
kW（hp） |
6（8） |
10.5（14） |
12（16） |
|
全負荷出力 |
11（15） |
22（30） |
24（32） |
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最大ロータ速度 |
rev/min |
6600 |
DP-6600 |
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インレット/アウトレットフランジ |
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ISO100/NW50 |
ISO160/NW50 |
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寸法（mm） |
長さx幅x高さ/mm（インチ） |
1265 x 567 x 642 |
1650 x 567 x 642 |
1650 x 567 x 996 |
|
（49.8 x 22.3 x 25.3） |
（65 x 22.3 x 25.3） |
（65 x 22.3 x 39.2） |
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冷却 |
接続 |
|
G3/8インチ、メスネジ |
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冷却フロー（常時オン） |
l/min（gal/min） |
10（2.6） |
12（3.2） |
15（4） |
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最大供給圧力 |
barg（psig） |
6.9（100） |
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温度 |
°C（°F） |
5～40（41～104） |
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パージ |
接続 |
|
G1/2インチ、メスネジ |
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圧力 |
barg（psig） |
2.5～6.9（36～100） |
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シャフトシールフロー（常時オン） |
L/分 |
12（3.1） |
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ガスバラストフロー（手動調整） |
L/分 |
1～130（0.2～34.3） |
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運転 |
周囲温度範囲 |
°C（°F） |
5～40（41～104） |
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騒音レベル（サイレンサ装着時） |
dB（A） |
< 64 |
< 70 |
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最大排気背圧 |
bar.a (psig) |
1.2（2.9） |
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EXS Dry Screw Vacuum Pump Did You Know Poster A1
